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日立 超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000
面议日立 超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
面议日立 超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
面议日立 超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
面议日立 热场式场发射扫描电镜 SU5000
面议日立 光-电联用显微镜法(CLEM)系统MirrorCLEM
面议日立 超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
面议日立 TM系列专用能谱仪(EDS)AZtec系列
面议日立 钨灯丝扫描电子显微镜 FlexSEM 1000 II
面议日立 钨灯丝扫描电子显微镜 SU3800 SU3900
面议日立 TM系列专用能谱仪(EDS)Quantax75
面议日立 球差校正扫描透射电子显微镜 HD-2700
面议产品介绍:
追求的TEM样品制备工具
在设备及高性能纳米材料的评价和分析领域,FIB-SEM已成为的工具。
近来,目标观察物更趋微细化;更薄,更低损伤样品的制备需求更进一步凸显。
日立高新公司,整合了高性能FIB技术和高分辨SEM技术,再加上加工方向控制技术以及Triple Beam?*1(选配)技术,推出了新一代产品NX2000
产品特点:
运用高对比度,实时SEM观察和加工终点检测功能,可制备厚度小于20 nm的超薄样品
FIB加工时的实时SEM观察*2例
样品:NAND闪存
加速电压:1 kV
FOV:0.6 μm
加工方向控制技术(Micro-sampling?*3系统(选配)+高精度/高速样品台*)对于抑制窗帘效应的产生,以及制作厚度均一的薄膜类样品给予厚望。
Triple Beam?*1(选配)可提高加工效率,并能使消除FIB损伤自动化
EB:Electron Beam(电子束)
FIB:Focused Ion Beam(聚焦离子束)
Ar:Ar ion beam(Ar离子束)