日立 FIB-SEM三束系统NX2000

日立 FIB-SEM三束系统NX2000

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-06-19 08:00:03
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思耐达精密仪器(上海)有限公司

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产品简介

产品介绍 在设备及高性能纳米材料的评价和分析领域,FIB-SEM已成为的工具。 近来,目标观察物更趋微细化;更薄,更低损伤样品的制备需求更进一步凸显。 日立高新公司,整合了高性能FIB技术和高分辨SEM技术,再加上加工方向控制技术以及Triple Beam®*1(选配)技术,推出了新一代产品NX2000

详细介绍

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产品介绍:


追求的TEM样品制备工具

在设备及高性能纳米材料的评价和分析领域,FIB-SEM已成为的工具。

近来,目标观察物更趋微细化;更薄,更低损伤样品的制备需求更进一步凸显。

日立高新公司,整合了高性能FIB技术和高分辨SEM技术,再加上加工方向控制技术以及Triple Beam?*1(选配)技术,推出了新一代产品NX2000


产品特点:


运用高对比度,实时SEM观察和加工终点检测功能,可制备厚度小于20 nm的超薄样品



FIB加工时的实时SEM观察*2例

样品:NAND闪存

加速电压:1 kV

FOV:0.6 μm


加工方向控制技术(Micro-sampling?*3系统(选配)+高精度/高速样品台*)对于抑制窗帘效应的产生,以及制作厚度均一的薄膜类样品给予厚望。



Triple Beam?*1(选配)可提高加工效率,并能使消除FIB损伤自动化



EB:Electron Beam(电子束)

FIB:Focused Ion Beam(聚焦离子束)

Ar:Ar ion beam(Ar离子束)


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