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日立 超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000
面议日立 超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
面议日立 超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
面议日立 超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
面议日立 热场式场发射扫描电镜 SU5000
面议日立 光-电联用显微镜法(CLEM)系统MirrorCLEM
面议日立 超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
面议日立 TM系列专用能谱仪(EDS)AZtec系列
面议日立 钨灯丝扫描电子显微镜 FlexSEM 1000 II
面议日立 钨灯丝扫描电子显微镜 SU3800 SU3900
面议日立 TM系列专用能谱仪(EDS)Quantax75
面议日立 球差校正扫描透射电子显微镜 HD-2700
面议产品介绍:
该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当CAD系统中的坐标位置,样品台就会通过链接移动到相应位置,就可以获得相应位置的SIM图像。同时,CAD数据和SIM图像也可以重叠显示。因此,很容易检查到下层布线的状态,实质上提高了分析的效率,有利于进一步进行修理工作。