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日立 超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
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日立 超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
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日立 超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
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日立 热场式场发射扫描电镜 SU5000
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日立 光-电联用显微镜法（CLEM）系统MirrorCLEM
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日立 超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
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日立 TM系列专用能谱仪（EDS）AZtec系列
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日立 钨灯丝扫描电子显微镜 FlexSEM 1000 II
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日立 钨灯丝扫描电子显微镜 SU3800 SU3900
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日立 TM系列专用能谱仪（EDS）Quantax75
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日立 球差校正扫描透射电子显微镜 HD-2700
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日立 台式扫描电镜 TM4000II TM4000PlusII
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产品介绍：
专门为电子束敏感样品和需300万倍稳定观察的半导体器件，高分辨成像所设计。
产品特点：
新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。
0.4 nm / 30 kV (SE)
1.2 nm / 1 kV (SE)
0.34 nm / 30 kV (STEM)
用改良的高真空性能和的电子束稳定性来实现高效率截面观察。
采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号
