超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000
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超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
专门为电子束敏感样品和需极大300万倍稳定观察的半导体器件,高分辨成像所设计。
新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。
0.4 nm / 30 kV (SE)
1.2 nm / 1 kV (SE)
0.34 nm / 30 kV (STEM)
用改良的高真空性能和的电子束稳定性来实现高效率截面观察。
采用全新设计的Super E x B能量过滤技术,高效,灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。
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