◆ 大探针电流90nA，实现快速加工和大面积加工

焊线的截面加工

（加工尺寸　宽：95µm　深：55µm， 加工时间　20min）

◆ 通过提高极低加速电压（0.5kV～）加工及低加速电压二次电子图像分辨率，实现制备损伤率更低的TEM样品

*1kV以下为选配

◆ 可观察高分辨率SIM成像（二次电子成像分辨率高达4nm@30kV）

        正常部位                弯折部位

                铝罐的截面SIM图像

◆ 采用高精度5轴电动机械优中心马达台

可在样品台移动（包括倾斜）时自动对多个部位进行多种加工。

◆ *的操作性能和多种多样的加工模式

截面制备程序加工

TEM/STEM样品程序加工

自动连续加工

TEM样品自动连续精加工软件

位图加工

Vector Scan加工

制备纳米精度三维结构样品 其他

悬空纳米导线制作

样品来源：兵库县立大学 松井真二 先生

◆ SIM像三维重构分析

等间隔截面加工与截面观察的往复进行，可取的多张截面连续SIM像，并进行3维重构。由此可判断样品中颗粒，孔洞等3维分布状态。

                                                                    半导体封装材料中的填料分布分析示例

◆ 使用多路气体系统（MGS-II）修复电路

该系统可对应保护膜材料、配线材料、绝缘膜、加速蚀刻等多种用途，照射多种气体。

 钨沉积气体

 铂沉积气体

 绝缘膜制备用沉积气体

 氟化氙蚀刻气体

 有机类蚀刻气体

 碳沉积气体

使用XeF2气体实现的大深径比孔加工

以及采用钨沉积引线

◆ 丰富多样的坐标链接功能

日立公司的坐标链接功能丰富多样，可确定正确的加工位置和大幅缩短时间。

 光镜图像与SIM像的链接

 双光标功能

 日本zhuanli第4634134号 美国zhuanli第7595488号

 与缺陷检测设备建立坐标链接

 已截断的晶元或芯片也可与缺陷检测设备建立坐标链接。

 CAD联用导航软件

 4通道供气系统

 自动连续加工软件

 TEM样品自动加工软件

 控制器显微镜 其他

*：可选择其他MI系列的各种选配件。