IC载板在线式PLASMA--双腔全自动、无接触

产品特点:

可选配自动上下料/连线，避免人员接触产品，全自动方式减少了人为因素,降低二次污染并节约了人力成本。

设备清洗后其表面活性明显增强，均匀性和粘结力显著提升。

支持单张自动扫码，方便追溯，支持MES系统对接

机器人直接抓取，避免传送污染

PLASMA（全名：易捷载板在线式PLASMA）是一种全自动、无接触的装载板处理系统。它是一项的技术，可以广泛应用于半导体制造和其他高科技领域，为工业生产带来了巨大的便利和效益。

PLASMA系统采用双腔结构，包括清洗腔和处理腔。在整个处理过程中，载板不接触机械设备，由机器人自动操作，避免了人为因素对产品质量的影响，提高了生产效率和产品一致性。

PLASMA系统的主要功能是清洗和处理载板。在清洗腔中，载板会经过高压喷洗和喷射的清洗溶液，去除表面的杂质和污染物。清洗过程非常，可以保证载板的清洁度要求，同时减少后续处理过程中的不良率。

在处理腔中，PLASMA系统会使用高能离子束或等离子体技术，对载板进行精细处理。离子束可以改变载板表面的化学和物理特性，使其具有更好的附着力、耐磨性和电导率等特点，提高了载板的性能。等离子体技术可以对载板进行表面活化处理，增强载板与其它材料的黏附力，提高产品的整体工艺性能。

PLASMA系统的优点不仅在于其全自动、无接触的特性，还在于其处理能力和稳定性。系统采用的控制技术，能够精确控制处理过程的各项参数，保证了处理效果的一致性。而且，PLASMA系统的处理腔具有高真空环境，可以确保载板在无尘的条件下进行处理，减少了载板的再次污染。

PLASMA系统的应用非常广泛。在半导体制造领域，PLASMA系统可以用于清洗和处理半导体晶片的载板，提高晶片的质量和性能；在太阳能电池制造领域，PLASMA系统可以用于提高电池片的表面特性，提高电池的能量转换效率；在平板显示器制造领域，PLASMA系统可以用于清洗和处理液晶载板，提高显示屏幕的清晰度和亮度。

总之，PLASMA（易捷载板在线式PLASMA）是一种的装载板处理系统，采用双腔结构，全自动、无接触地进行载板清洗和处理。该系统具有高效、稳定的性能，广泛应用于半导体制造和其他高科技领域，为工业生产带来了便利和效益。