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产品特点：
（1）采用自动控制界面和触摸屏人机界面，操作方便且可随时实时工艺监控。
（2）的型腔设计，清洗均匀性好，清洗质量高。
（3）等离子清洗具有重复性高，可控性强、利用率高、无污染、运行成本低等特点。
（4）不同的腔体结构组合适用于不同类型的产品、组件或载具。
（5）应用领域比较广泛，如半导体封装行业、半导体功率器件等
技术参数：
序号 | 型号 | AS-V100 |
1 | 设备外形尺寸 | 长×深×高＝1200mm×800mm×1750mm |
2 | 真空腔体尺寸 | 长×深×高＝450mm×450mm×610mm |
3 | 电源频率 | 2.45GHz |
4 | 电源功率 | 600w |
5 | 电极板规格 | 非标定制 |
6 | 软件控制 | PLC触摸屏 |
7 | 气体纯度要求 | 工业级气体或更好 |
8 | 可加载气体 | O₂ / N₂/ Ar |
