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产品特点：
●性价比高，可通过组件和载具进行形式转换，兼容不同形 状大 小的料片。
●全自动方式减少了人为因素，降低二次污染并节约了人力成本。
●设备清洗后其表面活性明显增强，均匀性和粘结力显著提升。
●屏幕动画显示全线工作状态，运行过程实时监控。
●配备自动取片、传输、送片等其他方面的功能。
技术参数:
序号 | 型号 | AV-P4 |
1 | 外形尺寸 | 长×宽×高＝2140mm×1340mm×1760mm |
2 | 反应仓尺寸 | 长×深×高＝320mm×610mm×50mm |
3 | 等离子体发生器 | 频率13.56MHz，功率0-600W可调，自动阻抗匹配 |
4 | 气路系统 | 标准配置2路（O₂Ar/H₂），质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调 |
5 | 控制系统 | 触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动 2种操作 |
6 | 收料尺寸 | 长150-270mm,宽35-95mm |
7 | 效率 | 4道4片，约500片/小时 |
8 | 应用工艺 | 集成电路IC封装工艺LED封装工艺 |
