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产品特点：
●采用上进气下抽气的方式，的抽气挡板保证优良的均匀性。
●具有缺气、压力保护、电路保护等安全保护系统。
●电极板用整块铝板中间镂空，冷却通道采用深钻孔方式结合内部特定位置截流，引导冷却水按规定方向运行，保证温度均匀性。
采用两路水路，分别单独给真空腔体和干泵 确保冷却效果。
技术参数:
序号 | 型号 | AV-P30 |
1 | 设备外形尺寸 | 长×深×高＝2380mm×2150mm×2200mm |
2 | 真空腔体尺寸 | 长×深×高＝1445mm×1265mm×1055mm |
3 | 大处理尺寸 | 长×宽＝1120mm×635mm |
4 | 大处理层数 | 15层 |
5 | 输入电压 | 三相交流 380V 50Hz |
6 | 输出频率 | 40KHz |
7 | 输出功率 | 10Kw |
8 | 放电真空度 | 20Pa-80Pa |
9 | 可加载气体 | 四种（O₂，N₂，H₂，CF4) |
