风速或风量、

静压差

已安装的

空气过滤器泄漏测试

洁净度

气流流型目测

温度

相对湿度

噪声

照度

自净时间

电子工业洁净厂房

《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472-2008

《洁净厂房设计规范》 GB 50073-2013
  《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010

技术指标

监测项目

1～5

6（1000级）

7（10000级）

8～9

气流流型

单向流或混合流

非单向流

非单向流

非单向流

平均风速 （m/s）

0.20～0.45

—

——

—

换气次数（次/h）

—

50～60

15～25

10～15

噪音 空态

65dB(A)

60dB(A)

60dB(A),

60dB(A)

温度℃ 湿度%

生产工艺有温湿度的要求按 生产工艺

生产工艺无温湿度的要求≤22℃（冬季）~24℃（夏季）

30%~50%（冬季）40%~70%（夏季）

人员净化及生活用室~18℃（冬季），~28℃（夏季）湿度不做规定

照度

无采光窗的洁净室（区）的生产用房间一般照明的照度标准值宜为200LX-500LX,辅助用房、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等宜为150LX-300LX

洁净室内一般照明的照度均匀度不应小于0.7

静压差,Pa

不同空气洁净度级别的医药洁净室不应小于5Pa，洁净室与非洁净室之间的空气静压差不应小于5Pa,洁净室与室外大气的静压差不应小于10Pa。

与室外大气

≥10

不同洁净级别

≥5

与非洁净室之间

≥5

相同洁净级别

---