双温区PECVD系统
双温区PECVD系统

BTF-1200C-II-PECVD双温区PECVD系统

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2019-03-07 11:34:20
1450
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安徽贝意克设备技术有限公司

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产品简介

双温区PECVD系统;400℃开启式真空预热管式炉不仅是可以提高热交换性能,降低热量损耗的一种预热设备,也可以作为1000℃小型加热炉进行抽真空,通气氛实验;加热区长度100mm,恒温区60mm;炉管工件横穿与上下各8组进口电阻丝的炉膛,温场均匀,内外温差可控制在3度左右。

详细介绍

        

 

硫粉预热器

            

 

型号:BTF-400C

工作温度:350℃

zui高温度:400℃

zui快升温速率:30℃/min

*升温速率:10℃/min

控温方式:智能化30段可编程控制

工作电压:AC220 V

额定功率:800W

控温精度:±1℃

加热元件:电阻丝

 

 

 

 

硫化炉

        

 

技术参数:                                                  

额定功率(KW):3

额定电压(V):AC220v  50/60 Hz

zui高温度(℃):1200(1 hour)

持续工作温度(℃):1100

升温速率(℃/min):≤50

炉管尺寸(mm):

高纯石英管Φ50×1200mm

加热区长度(mm):440mm

恒温区长度(mm):200mm  

控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度(℃):±1

加热元件:电阻丝

 

 

 

 

 供气系统(GMF-3Z) 

重量:35Kg                                            

外形尺寸:600x600x650mm

连接头类型:双卡套不锈钢接头。

标准量程(N2):100sccm、200sccm (可根据用户要求定制)

准确度:±1.5%

线性:±0.5~1.5%

重复精度:±0.2%

响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围:0.1~0.5 MPa

zui大压力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

显示:4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管:Φ6

压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止阀:Φ6

 

 

低真空机组(VAU-02)                 

技术参数:

空气相对湿度≤85%,

工作电电压:220V±10%  50~60HZ 

功率:1千瓦

抽气速率:4L\s

极限真空:4X10-2Pa

实验真空度:1.0X10-1Pa

容油量:1.1L

进气口口径:KF25

排气口口径:KF25

转速:1450rpm

噪音:50dB

外型尺寸:600×600×600mm

 

 

 

 

 

射频电源

信号频率:13.56MHz±-0.005%

射频功率输出范围:5W-500W

zui大反射功率:200W

射频输出接口:50Ω。N-type,female

功率稳定度:±0.1%

谐波分量:≤-50dbc

供电电压:单相50/60Hz 220v±10%

整机效率:>=70%

功率因素:>=90%

冷却方式:强制风冷                      

 

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