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回转CVD设备组成：
加热系统，炉管转动系统，螺旋送料系统、供气系统、真空系统、工控及操作系统。
1、回转CVD设备加热系统：
该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，适合中低温度加热系统。
高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。
2、炉管转动系统：
炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动，转速在0-60r/min连续可调，且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀。
3、螺旋送料器：
先将样品储存于样品罐中，通过螺旋送料器将样品送入石英管内。样品送完之后送料杆退回到原始位置。周而复始，达到自动送料。
4、供气系统：
供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成，触摸屏控制。
5、真空系统：
真空机组，内部安装BSV-60机械泵1台，电阻真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。
三、加热主体设备技术参数：
腔体尺寸 | 外径Φ280 ，Φ300，Φ400，Φ500，Φ600尺寸可选 （中间异型区域尺寸） |
炉膛保温材料 | 氧化铝纤维 |
表面温度 | ≤60℃ |
加热元件 | 进口KTL电阻丝 |
加热区数量 | 5区，每个温度独立控制，使温场均匀性更好 |
加热区长度 | 300+300+300+300+300mm |
恒温区长度 | 真空条件两端加氧化铝管堵的情况下，两个温区设定同一温度是恒温区可达1200mm |
zui高温度 | 1200℃ |
建议长时间使用温度 | ＜1100℃ |
控温精度 | ±1℃ |
升温速率 | 0-20℃/min，建议升温速率10℃/min |
设备功率 | 28KW |
设备工作电源 | 380V/50HZ |
热电偶型号 | K型 |
控制器 | 可编程控温仪表，PID调节，升、降保温全自动 |
控温方式 | 人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制 |
无纸记录 | 内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数据 |
结构描述 | 设备可对半电动开启，加快冷却速度、表面温度低于60℃ |
转动密封收集系统 | 炉管一端配有不锈钢密封可转动水冷法兰、螺旋送料装置 |
四、3路供气系统参数
连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
标准量程（N2) | 500sccm、1000sccm、2000sccm（量程型号根据要求定制） |
zuida压力 | 3MPa |
接口 | Φ6 |
显示 | 液晶屏显示 |
工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
压力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 | Φ6卡套接头 |
五、真空机组参数：
空气相对湿度 | ≤85% |
工作环境 | 5℃～40℃ |
工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1千瓦 |
抽气速率 | 60m³/h |
极限真空 | 5X10-1Pa |
工作压力范围 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐压值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
进气口口径 | KF40 |
排气口口径 | KF40 |
连接方式 | 采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
电阻真空计参数： | |
配用规管： | ZJ-52T电阻规， |
测量范围： | 10 5 ～10 -1 Pa， |
测量路数： | 1路 |
控制范围： | 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， |
控制方式： | 继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载 |
电源： | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， |
功耗： | 20W |
