真空气相沉积炉

真空气相沉积炉

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-12-25 12:19:12
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上海哈腾电炉设备有限公司

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产品简介

设备用途本设备主要用于碳素制品的化学气相沉积增密处理,或以碳氢气体为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理及碳毡制品真空碳化其热处理

详细介绍


  1. 设备用途

本设备主要用于碳素制品的化学气相沉积增密处理,或以碳氢气体为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理及碳毡制品真空碳化其热处理。


  1. 设备特点

1.双层SUS304炉体结构,中间通以冷却水,有效降低炉体表面温度,减少高温伤害,降低对环境的影响;
2.采用的保温材料及隔热结构,导热系数低,保温效果好,即使在很高的温度下也能有效隔绝热量,节约能耗;
3.能够准确控制气体流量和压力,通过特殊的导气结构和装置,大大提高产品的合格率,降低沉积时间;
4.通过特殊的过滤装置,使其热解过程的碳粉几乎过滤,不进入真空机组,大大延长了真空机组的使用寿命;
5.人性化配置,既可以手动操作,也可以实现一键智能操作;
6.型式多样化,立式上开门、立式底升式、卧式侧开门,任意选择;
7.本产品接受非标定制。


  1. 设备参数

型号

工作区尺寸
D×H

温度

温度均匀性

冷态极限真空度
Pa

压升率
Pa/h

加热功率
Kw

HVCVD-2030

Φ200×300

1500

±5

50

3

25

HVCVD-2540

Φ250×400

1500

±5

50

3

40

HVCVD-3050

Φ300×500

1500

±5

50

3

55

注:以上技术参数可根据工艺进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。




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