RTP快速炉

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具体成交价以合同协议为准
2023-12-25 12:14:48
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上海哈腾电炉设备有限公司

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产品简介

设备特点1.升降温速度快,升温采用环形红外短波加热器,升温速率可达200℃/s,降温时通过将炉膛退出,实现对产品的快速降温

详细介绍


  1. 设备特点


1.升降温速度快,升温采用环形红外短波加热器,升温速率可达200℃/s,降温时通过将炉膛退出,实现对产品的快速降温;
2.测温采用精准的S型金属热电偶直接测量产品表面,使加热工件的温度更加准确;
3.控制数学控制数学模型采用的PID自学习模糊双闭环控制模式,使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在±3℃;
4.功能多样化,既可以用于材料的快速升降温退火,也可用于化学气相沉积(CVD)法,在镍或铜箔上制备石墨烯的制备。


  1. 设备参数

电源

AC380~400V,50HZ(60Hz定制)

功率

15Kw

额定温度

1100℃

使用温度

≤1000℃

反应腔室尺寸

Φ100X200

温场均匀性

±3℃

温度控制模式

智能模糊全闭环PID控制

传感器内型

S型单铂铑

升温速率

200℃/s

降温速率

1~200℃/s(通氮气,速率更快)

操作方式

触摸屏控制

真空系统

选配

进出气接口

Φ6卡套

本产品接受非标定制




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