1.高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成，真空可达10-4Pa；
2.可配合压强控制仪控制气体压力，实现负压的精准控制；
3.数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；
4.每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性；
5.采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；
6.管路采用世界Swagelok卡套连接，不漏气；
7.超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠；
8.PECVD借助射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，更容易发生反应。