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RF射频电源主要技术参数：
| 功率输出范围 | 0-500W |
| 反射功率 | 200W |
| 工作频率 | 射频：13.56MHZ±0.005% |
| 功率稳定度 | +/-0.1% |
| 谐波分量 | ≤-50dbc |
| 射频区域宽度 | 0-600mm 可调 |
| 匹配方式 | 自动 |
| 冷却方式 | 分冷 |
| 噪声 | <50dB |
| 射频接口 | 50Ω N-type |
| 输入电源 | 208-240V 50/60HZ |
