1 、5路控制温控系统，可以加热ALD里管路和ALD容器内液体

2、2路气体脉冲交替控制系统（交替时间、交替次数等、用单片机或PLC 控制能够达到ms

ALD阀门

1、能够在不到 5 ms 内完成阀门开启或关闭

2、高速执行下的超高循环寿命、在产品评估是循环次数超过了次

3、耐 热 执 行 器 、耐 温 高 达200°C（392°F）

源瓶

源瓶特点

1、所用管件采用316L不锈钢，内部经400目机械抛光和电化学抛光，Ra≤0.25μm。

2、阀门采用美国世伟洛克球阀或隔膜阀。

3、密封垫片采用纯银镀镍垫片。

4、氦质谱检测泄漏率≤1.0*10mba L/s。

^{_{5、可盛装化学品纯度≥99.9995%。}}

^{_{6、总残余元素量≤50PPb。}}

ALD简图

1、 不锈钢真空腔体与ALD管路连接

2、 2个ALD阀门、控制2路管道交替脉冲输入

3、多根加热管给ALD管道和石英容器加热、保证被汽化液体保持汽化状态进入反应区域。

4、多个球阀控制管路的通过。

5、多个旁通支路、可以通气其他气体或运载气体。

功率

3.6KW

采用宇电程序控温仪表（标配）

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，

主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。

3、带有485 通讯接口（选购软件时标配）

4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

质量流量计

真空泵

瑞典（INFICON）

  皮拉尼陶瓷电容真空计