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南京市所在地
详细技术参数
VTL1700管式炉
| 型号 | VTL1700-CVD-I | VTL1700-CVD-II | |
功率 | 7KW | 7KW | ||
炉管尺寸 | Dia 60(OD) X1000mm | Dia 80(OD) X1000mm | ||
炉塞,材料位置放置 |
| |||
外形尺寸(LXDXH) | 1300X500X800mm | 1300X500X800mm | ||
电源电压 | 220V/380V | |||
相数 | 单相 | |||
加热元件 | 1800型硅钼棒 | |||
控制方式
| 采用宇电程序控温仪表(标配) 1、50段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1720度或热电偶烧断时, 主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 3、带有485 通讯接口(选购软件时标配) 4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 (更换进口仪表,需要另外付费,选购)
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 (日本岛电) | |||
控温模式 | 智能PID | |||
断偶保护和显示 | 有 | |||
过温保护 | 有 | |||
过流保护 | 有 | |||
控制精度 | +/- 1 ℃ | |||
触发器 | 移相触发 | |||
电器 | 浙江正泰 | |||
可控硅 | 106/16E 德国西门康 | |||
温度 | 1700 ℃ | |||
额定温度 | 1650 ℃ | |||
升温速率 | ≤20 ℃/ Min (可根据要求修改) | |||
推荐升温速率 | ≤10℃/ Min | |||
热电偶型号 | B 型 | |||
加热段长度 | 440 mm | |||
电器认证 | ||||
四周表面温度 | ≤45℃ | |||
法兰和阀门 | ||||
GX供气系统主要参数
| 质量流量计
| 量程和气体 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型) | |
耐压 | 3MP | |||
流量控制精度 | ±1.0%F.S | |||
工作(使用)压力 | 0.3MPa | |||
线性 | ±0.5%F.S. | |||
重复精度 | ±0.2% F.S | |||
路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路) | |||
接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | |||
系统工作压力范围 | 0.1~0.5 MPa | |||
工作温度 | 5-45℃ | |||
压力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |||
静态混气室 | Dia50 X 400MM | |||
接口 | Dia6 / 1/4” | |||
VS-0.1抽气系统 方案一或方案二任选一个
| 电源 | 220V | ||
尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | |||
波纹管 | KF25X1000mm | |||
用该系统抽炉管真空度可达 | 10 -1Pa | |||
真空挡板阀 | KF25 | |||
VRD-8真空泵 方案一 | 型号 | VRD-8 | ||
极限分压强 | 5X10-2 Pa | |||
进排气接口 | KF25 | |||
电机转速 | 1440RPM | |||
抽气速率 | 2.2L/S | |||
电机功率 | 0.4KW | |||
Preiffer ACP15无油多级罗茨泵 方案二 | 型号 | ACP15 | ||
电源 | AC100-240 50/60HZ | |||
功率 | 450W | |||
重量 | 25KG | |||
氦气漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||
抽气速率 | 14 m3/h | |||
极限压强 | 0.02Torr | |||
进、排气接口 | KF25 | |||
电阻真空计 (方案一) | 型号 | ZDR-1 | ||
功率 | 25W | |||
真空度测量范围 | 0.1-10 5 Pa | |||
电阻硅 | ZJ-52T | |||
瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空 (方案二)
| 型号 | PCG554 | ||
输入电压 | 24V 1A DC(配有220V变压器) | |||
真空计接口 | KF16 | |||
数字显示 | 数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr | |||
产品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | |||
重量 | 5 lbs | |||
检测气体 | 可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。 | |||
是否防腐 | 防腐 | |||
响应时间 | ≤30ms | |||
测量范围 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | |||
分子泵机组(选购) (方案一或方案二任选一个) | 机组输入电压 | 380V /220V | ||
波纹管 | KF40X1000 | |||
真空挡板阀 | KF40 | |||
机箱尺寸 | 600X600X600 | |||
分子泵 (方案一)
| 分子泵型号 | FJ620 | ||
输入电压 | 380V | |||
分子泵进气口法兰 | DN160 | |||
分子泵抽气速率L/S(对空气) | 600 | |||
分子泵极限压强(Pa) | 6×10-7 | |||
冷却方式 | 水冷 | |||
冷却水压(MPa) | 0.1-0.2 | |||
冷却水温度 | <25℃ | |||
环境温度 | 0~40℃ | |||
建议启动压强 | <100pa | |||
分子泵前级真空TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) (方案二)
| 功率 | 0.75KW | ||
电压 | 380V | |||
转速 | 1450rpm | |||
进气口径 | KF25/KF40 | |||
前机泵抽气速率(L/S) | 6 | |||
极限压强 | 4X10 -2Pa | |||
德国Pfeiffer真空泵(方案二) | 电压 | 220V | ||
功率 | 110W | |||
抽气接口 | KF40 | |||
重量 | 150KG | |||
前机泵抽速 | 0.9m 3/ h | |||
抽气速率(N2) | 33L/S | |||
复合真空计 | 复合真空计型号 | ZDF | ||
电源 | 220V 55W | |||
控制精度 | ± 1% | |||
真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa |
质保期
一年质保,终身技术支持
特别提示:1.耗材部分如加热元件,炉管,样品坩埚等不在保修期内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa
3.当使用的炉管为刚玉管时,炉体温度高于1500℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当
4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击
5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由4路供气系统+TL1700管式炉+真空系统组成
1、加热元件
(1)、硅钼棒的热端粗度D1为7mm、一般厂家采用的6MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。
(2)、采用的是热弯技术,电阻均匀,使用寿命长
(3)、Lu冷端长度为210mm, 400X300X300炉子为260 ,一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。
(4)、硅钼棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护硅钼棒。
2、安装有空气开关和漏电保护器:
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
、
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
4、炉膛
进口炉膛 VS 国产炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热,温场更加均衡
5、该炉膛不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强
5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)
6、触发器
VS
软启动限流触发器 大部分厂家使用的非限流
厦门博特触发器
1、移相触发(带软启动和限流功能)
2、限流功能:无论怎么样设置升温速率,我们电炉的二次电流始终被限制在170A以内,有效的保护了设备。由于采用限流功能,高温下可开炉门。如果您使用的电炉需要在升温过程中对炉子的升温速率进行限制(例如:规定在1400℃后不得超过3℃/min等)即采用非限流触发器。升温速率设置错误或者升温速率过快、这时电流会非常大,设备会跳闸或烧坏。
3、软启动功能:开机时电流会慢慢增大,对加热元件的冲击较小,有利于加热元件寿命的延长
4、保护功能:如果电流超过限制电流、触发器会自动切断触发功能以切断电流保护电炉。
7、UL认证变压器
8、多款可供选择的各种法兰 (直径从25到250mm)
铰链式法兰(选购) 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购) 水冷法兰(选购)
9、认证
VTL1700-CVD系统标配
描叙 | 数量 | 图片 |
VTL1700管式炉 | 1 套 | |
刚玉管 | 1根 | |
不锈钢法兰 | 1 套 |
|
不锈钢炉钩 | 1 个 | |
氧化铝炉塞 | 1对 | |
高温手套 | 1 双 | |
氧化铝坩埚 | 1 个 | |
K型热电偶 | 1个 | |
485转换接口和软件(选配) | 1 套 | |
说明书 | 1本 |
|
供气系统
| 1台 | |
VS-0.1抽气系统 | 1台 | |
射频电源 | 1台 | |
卡套 | 4个 | |
波纹管 | 1支 | |
真空挡板阀 | 1个 | |
钢瓶接头(N代表路数) | N个 | |
阀门接头 | 2 | |
聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 |