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此款CVD系统前端配有可加热到1000℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为双温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计供气系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于生长MoS2等二维材料非常实用,重复性好。
TL1200 管式炉
| 型号 | TL1200-C-I | TL1200- C-II | TL1200-C-III | TL1200-C-IV | |
预加热器 | 额定温度:800℃ 温度:1000℃ 升温速率:≤30℃/min 推荐升温速率:≤15℃/min 控温方式:智能化30段可编程控制 工作电压:AC220V 额定功率:1.2KW 控温精度:±1℃ 加热元件:电阻丝 | |||||
功率 | 3.5KW | 3.5KW | 3.5KW | 5KW | ||
炉管 | 石英管:60/80/100/150*1000mm(管径可选) 两边各放置一个炉塞,炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射,必须在加热前放置在炉膛的正确位置
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外形尺(LXDXH) | 580X370X540 | 580X420X590 | 580X420X590 | 580X440X610 | ||
电源电压 | 220V | |||||
相数 | 单相 | |||||
加热元件 | 国产优质电阻丝 (可选配瑞典 Kanthal A1进口电阻丝) 点击进入资料下载 | |||||
控制方式
| 采用宇电程序控温仪表(标配) 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时。 主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 3、带有485 通讯接口(选购软件时标配) 4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 (更换进口仪表,需要另外付费,选购)
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 (日本岛电) | |||||
控温模式 | 智能PID | |||||
断偶保护和显示 | 有 | |||||
过温保护 | 有 | |||||
过流保护 | 有 | |||||
控制精度 | +/- 1 ℃ | |||||
触发器 | 移相触发 | |||||
电器 | 浙江正泰 | |||||
可控硅 | 106/16E 德国西门康 | |||||
温度 | 1200 ℃ | |||||
额定温度 | 1100 ℃ | |||||
升温速率 | ≤30 ℃/ Min (可根据要求修改) | |||||
推荐升温速率 | ≤15℃/ Min | |||||
热电偶型号 | K 型 | |||||
加热段长度 | 440mm | |||||
电器认证 | ||||||
四周表面温度 | ≤45 ℃ | |||||
阀门和法兰
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GX供气系统主要参数
| 质量流量计 | 量程和气体 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型) | |||
耐压 | 3MP | |||||
流量控制精度 | ±1.0%F.S | |||||
工作(使用)压力 | 0.3MPa | |||||
线性 | ±0.5%F.S. | |||||
重复精度 | ±0.2% F.S | |||||
路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路) | |||||
接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | |||||
系统工作压力范围 | 0.1~0.5 MPa | |||||
工作温度 | 5-45℃ | |||||
压力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |||||
静态混气室 | Dia50 X 400MM | |||||
接口 | Dia6 / 1/4” | |||||
VS-0.1抽气系统 方案一或方案二任选一个
| 电源 | 220V | ||||
尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | |||||
波纹管 | KF25X1000mm | |||||
用该系统抽炉管真空度可达 | 10 -1Pa | |||||
真空挡板阀 | KF25 | |||||
VRD-8真空泵 (方案一) | 型号 | VRD-8 | ||||
极限分压强 | 5X10-2 Pa | |||||
进排气接口 | KF25 | |||||
电机转速 | 1440RPM | |||||
抽气速率 | 2.2L/S | |||||
电机功率 | 0.4KW | |||||
Preiffer ACP15无油多级罗茨泵
(方案二) | 型号 | ACP15 | ||||
电源 | AC100-240 50/60HZ | |||||
功率 | 450W | |||||
重量 | 25KG | |||||
氦气漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||||
抽气速率 | 14 m3/h | |||||
极限压强 | 0.02Torr | |||||
进、排气接口 | KF25 | |||||
电阻真空计 (方案一) | 型号 | ZDR-1 | ||||
功率 | 25W | |||||
真空度测量范围 | 0.1-10 5 Pa | |||||
电阻硅 | ZJ-52T | |||||
瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空计 (方案二)
| 型号 | PCG554 | ||||
输入电压 | 24V 1A DC(配有220V变压器) | |||||
真空计接口 | KF16 | |||||
数字显示 | 数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr | |||||
产品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | |||||
重量 | 5 lbs | |||||
检测气体 | 可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。 | |||||
是否防腐 | 防腐 | |||||
响应时间 | ≤30ms | |||||
测量范围 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | |||||
分子泵机组(选购) (方案一或方案二任选一个) | 机组输入电压 | 380V /220V | ||||
波纹管 | KF40X1000 | |||||
真空挡板阀 | KF40 | |||||
机箱尺寸 | 600X600X600 | |||||
分子泵 (方案一)
| 分子泵型号 | FJ620 | ||||
输入电压 | 380V | |||||
分子泵进气口法兰 | DN160 | |||||
分子泵抽气速率L/S(对空气) | 600 | |||||
分子泵极限压强(Pa) | 6×10-7 | |||||
冷却方式 | 水冷 | |||||
冷却水压(MPa) | 0.1-0.2 | |||||
冷却水温度 | <25℃ | |||||
环境温度 | 0~40℃ | |||||
建议启动压强 | <100pa | |||||
分子泵前级真空TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) (方案二)
| 功率 | 0.75KW | ||||
电压 | 380V | |||||
转速 | 1450rpm | |||||
进气口径 | KF25/KF40 | |||||
前机泵抽气速率(L/S) | 6 | |||||
极限压强 | 4X10 -2Pa | |||||
德国Pfeiffer真空泵 (方案二)
| 电压 | 220V | ||||
功率 | 110W | |||||
抽气接口 | KF40 | |||||
重量 | 150KG | |||||
前机泵抽速 | 0.9m 3/ h | |||||
抽气速率(N2) | 33L/S | |||||
复合真空计 | 复合真空计型号 | ZDF | ||||
电源 | 220V 55W | |||||
控制精度 | ± 1% | |||||
真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa |
保修期
一年保修,终身技术支持
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa
3.当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当
4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击
5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
这套CVD系统带有预热系统,由预热系统+供气系统+管式炉+抽气系统 ,温度可以达到1200度加热区间可以是单温区,极限真空可以达到10-1Pa,供气系统是流量调节可以是4路质子流量计,
这款管式炉以电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
康泰尔电阻丝资料下载
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 进口电阻丝炉膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站:
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡
温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器:
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热,温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)
6、不锈钢支撑架
7、认证
8、法兰
铰链式法兰(选购) 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购) 水冷法兰(选购)
TL1200-CVD系统标配
描叙 | 数量 | 图片 |
TL1200管式炉 | 1 套 |
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石英管 | 1根 |
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不锈钢法兰 | 1 套 |
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不锈钢炉钩 | 1 个 |
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氧化铝炉塞 | 1对 |
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高温手套 | 1 双 |
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氧化铝坩埚 | 1个 |
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K型热电偶 | 1个 | |
485转换接口和软件(选配) | 1 套 |
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说明书 | 1本 |
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法兰支撑架 | 1 对 |
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供气系统
| 1台 | |
VS-0.1抽气系统 | 1台 | |
卡套 | 4个 | |
波纹管 | 1支 | |
真空挡板阀 | 1个 | |
钢瓶接头(N代表路数) | N个 | |
阀门接头 | 2 | |
聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 |