品牌
其他厂商性质
南京市所在地
详细技术参数
TL1400管式炉
| 型号 | TL1400-C-I | TL1400-C-II | TL1400-C-III |
功率 | 5KW | 5KW | 6KW | |
炉管尺寸 | 高纯刚玉管:60/80/100*1000mm(管径可选) 两边各放置两个炉塞,炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射,必须在加热前放置在炉膛的正确位置
| |||
外形尺寸(LXDXH) | 610X490X800 | 610X550X850 | 610X550X850 | |
电源电压 | 220V /380V | |||
相数 | 单相 | |||
加热元件 | 硅碳棒 | |||
控制方式
| 采用宇电程序控温仪表(标配) 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时, 主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 3、带有485 通讯接口(选购软件时标配) 4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 (更换进口仪表,需要另外付费,选购)
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 (日本岛电) | |||
控温模式 | 智能PID | |||
断偶保护和显示 | 有 | |||
过温保护 | 有 | |||
过流保护 | 有 | |||
控制精度 | +/- 1 ℃ | |||
触发器 | 移相触发 | |||
电器 | 浙江正泰 | |||
可控硅 | 106/16E 德国西门康 | |||
温度 | 1400 ℃ | |||
额定温度 | 1350 ℃ | |||
升温速率 | ≤35 ℃/ Min (可根据要求修改) | |||
推荐升温速率 | ≤15℃/ Min | |||
热电偶型号 | S型 | |||
加热段长度 | 300 mm | |||
温度校准(选配) | 定期对管式炉进行温度校准,可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括标准热电偶,温度校准仪,补偿导线
| |||
电器认证 | ||||
四周表面温度 | ≤45℃ | |||
阀门和法兰
| ||||
GX供气系统主要参数
| 质量流量计
| 量程和气体 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型) | |
耐压 | 3MP | |||
流量控制精度 | ±1.0%F.S | |||
工作(使用)压力 | 0.3MPa | |||
线性 | ±0.5%F.S. | |||
重复精度 | ±0.2% F.S | |||
路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路) | |||
接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | |||
系统工作压力范围 | 0.1~0.5 MPa | |||
工作温度 | 5-45℃ | |||
压力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |||
静态混气室 | Dia50 X 400MM | |||
接口 | Dia6 / 1/4” | |||
VS-0.1抽气系统 方案一或方案二任选一个
| 电源 | 220V | ||
尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | |||
波纹管 | KF25X1000mm | |||
用该系统抽炉管真空度可达 | 10 -1Pa | |||
真空挡板阀 | KF25 | |||
VRD-8真空泵 方案一 | 型号 | VRD-8 | ||
极限分压强 | 5X10-2 Pa | |||
进排气接口 | KF25 | |||
电机转速 | 1440RPM | |||
抽气速率 | 2.2L/S | |||
电机功率 | 0.4KW | |||
ACP15无油多级罗茨泵 方案二 | 型号 | ACP15 | ||
电源 | AC100-240 50/60HZ | |||
功率 | 450W | |||
重量 | 25KG | |||
氦气漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||
抽气速率 | 14 m3/h | |||
极限压强 | 0.02Torr | |||
进、排气接口 | KF25 | |||
电阻真空计 (方案一) | 型号 | ZDR-1 | ||
功率 | 25W | |||
真空度测量范围 | 0.1-10 5 Pa | |||
电阻硅 | ZJ-52T | |||
瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空 (方案二)
| 型号 | PCG554 | ||
输入电压 | 24V 1A DC(配有220V变压器) | |||
真空计接口 | KF16 | |||
数字显示 | 数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr | |||
产品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | |||
重量 | 5 lbs | |||
检测气体 | 可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。 | |||
是否防腐 | 防腐 | |||
响应时间 | ≤30ms | |||
测量范围 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | |||
分子泵机组(选购) (方案一或方案二任选一个) | 机组输入电压 | 380V /220V | ||
波纹管 | KF40X1000 | |||
真空挡板阀 | KF40 | |||
机箱尺寸 | 600X600X600 | |||
分子泵 (方案一)
| 分子泵型号 | FJ620 | ||
输入电压 | 380V | |||
分子泵进气口法兰 | DN160 | |||
分子泵抽气速率L/S(对空气) | 600 | |||
分子泵极限压强(Pa) | 6×10-7 | |||
冷却方式 | 水冷 | |||
冷却水压(MPa) | 0.1-0.2 | |||
冷却水温度 | <25℃ | |||
环境温度 | 0~40℃ | |||
建议启东压强 | <100pa | |||
分子泵前级真空TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) (方案二)
| 功率 | 0.75KW | ||
电压 | 380V | |||
转速 | 1450rpm | |||
进气口径 | KF25/KF40 | |||
前机泵抽气速率(L/S) | 6 | |||
极限压强 | 4X10 -2Pa | |||
德国Pfeiffer真空泵(方案二)
| 电压 | 220V | ||
功率 | 110W | |||
抽气接口 | KF40 | |||
重量 | 150KG | |||
前机泵抽速 | 0.9m 3/ h | |||
抽气速率(N2) | 33L/S | |||
复合真空计 | 复合真空计型号 | ZDF | ||
电源 | 220V 55W | |||
控制精度 | ± 1% | |||
真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa |
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由3路供气系统+TL1400管式炉+真空系统组成
1、加热元件
(1)、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。
(2)、m冷端长度为210mm, 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。
(3)、硅碳棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护碳棒。
2、安装有空气开关和漏电保护器:
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
3、可以与电脑连接(选购)
该炉配可有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
4、炉膛
进口炉膛 VS 国产炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用成型。
3、炉膛材料热容低、热传导系数低,从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。
4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。
5、炉膛表面光洁、不易掉粉。
5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)
6、不锈钢支撑架
7、多款可供选择的各种法兰 (直径从25到250mm)
铰链式法兰(选购) 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购) 水冷法兰(选购)
8、认证
管式炉标准配件
描叙 | 数量 | 图片 |
TL1400管式炉 | 1 套 |
|
刚玉管 | 1根 |
|
不锈钢法兰 | 1 套 |
|
不锈钢炉钩 | 1 个 |
|
氧化铝炉塞 | 2对 |
|
高温手套 | 1 双 |
|
氧化铝坩埚 | 1个 |
|
K型热电偶 | 1个 | |
485转换接口和软件(选配) | 1 套 |
|
说明书 | 1本 |
|
法兰支撑架 | 1 份 |
|
供气系统
| 1台 | |
抽气系统 | 1台 | |
卡套 | 4个 | |
波纹管 | 1支 | |
真空挡板阀 | 1个 | |
钢瓶接头(N代表路数) | N个 | |
阀门接头 | 2 | |
聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 | |