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详细技术参数
| TL1200-1200 管式炉
| 型号 | TL1200-1200-PECVD-I | TL1200-1200-PECVD-II | ||
| 功率 | 3.6KW | 3.6KW | |||
| 外管尺寸 | Dia 80(OD) X1200mm | Dia 100（OD) X1200mm | |||
| 内管尺寸 | Dia 60(OD) X1400mm | Dia 80(OD) X1400mm | |||
| 石英管:60/80/100*1200/1400mm(管径可选） 两边各放置一个炉塞，炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射，必须在加热前放置在炉膛的正确位置
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| 外形尺寸（LXDXH） | 1800X500X1200 | 1800X550X1200 | |||
| 电源电压 | 220V | ||||
| 相数 | 单相 | ||||
| 加热元件 | 国产优质电阻丝（可选配瑞典Kanthal A1进口电阻丝） 点击进入资料下载 | ||||
| 控制方式
| 采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
（更换进口仪表，需要另外付费，选购）
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 （日本岛电） | ||||
| 控温模式 | 智能PID | ||||
| 断偶保护和显示 | 有 | ||||
| 过温保护 | 有 | ||||
| 过流保护 | 有 | ||||
| 控制精度 | +/- 1 ℃ | ||||
| 触发器 | 移相触发 | ||||
| 电器 | 浙江正泰 | ||||
| 可控硅 | 106/16E 德国西门康 | ||||
| 温度 | 温区一：1200 ℃ 温区二：1200 ℃ | ||||
| 额定温度 | 温区一：1100 ℃ 温区二：1100 ℃ | ||||
| 升温速率 | ≤20 ℃/ Min （可根据要求修改） | ||||
| 推荐升温速率 | ≤10℃/ Min | ||||
| 热电偶型号 | 温区一：K 型 温区二：K 型 | ||||
| 加热段长度 | 温区一：205mm 温区二：205 mm | ||||
| 温场曲线 |
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| 电器认证 |
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| 四周表面温度 | ≤45℃ | ||||
| 阀门和法兰
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| 射频电源 （等离子体发生器）
| 功率输出范围 | 0-500W | |||
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| 反射功率 | 200W | |||
| 工作频率 | 射频：13.56MHZ±0.005% | ||||
| 功率稳定度 | +/-0.1% | ||||
| 谐波分量 | ≤-50dbc | ||||
| 射频区域宽度 | 0-600mm 可调 | ||||
| 匹配方式 | 自动 | ||||
| 冷却方式 | 分冷 | ||||
| 噪声 | <50dB | ||||
| 射频接口 | 50Ω N-type | ||||
| 输入电源 | 208-240V 50/60HZ | ||||
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GX供气系统 主要参数
| 质量流量计
| 量程和气体 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） | ||
| 耐压 | 3MP | ||||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||||
| 工作（使用）压力 | 0.3MPa | ||||
| 线性 | ±0.5%F.S. | ||||
| 重复精度 | ±0.2% F.S | ||||
| 路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） | ||||
| 接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | ||||
| 系统工作压力范围 | 0.1~0.5 MPa | ||||
| 工作温度 | 5-45℃ | ||||
| 压力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||||
| 静态混气室 | Dia50 X 400MM | ||||
| 接口 | Dia6 / 1/4” | ||||
| VS-0.1抽气系统
方案一或方案二任选一个
| 电源 | 220V | |||
| 尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | ||||
| 波纹管 | KF25X1000mm | ||||
| 用该系统抽炉管真空度可达 | 10 -1Pa | ||||
| 真空挡板阀 | KF25 | ||||
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VRD-8真空泵 方案一 | 型号 | VRD-8 | |||
| 极限分压强 | 5X10-2 Pa | ||||
| 进排气接口 | KF25 | ||||
| 电机转速 | 1440RPM | ||||
| 抽气速率 | 2.2L/S | ||||
| 电机功率 | 0.4KW | ||||
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Preiffer ACP15无油多级罗茨泵 方案二 | 型号 | ACP15 | |||
| 电源 | AC100-240 50/60HZ | ||||
| 功率 | 450W | ||||
| 重量 | 25KG | ||||
| 氦气漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | ||||
| 抽气速率 | 14 m3/h | ||||
| 极限压强 | 0.02Torr | ||||
| 进、排气接口 | KF25 | ||||
| 电阻真空计 （方案一） | 型号 | ZDR-1 | |||
| 功率 | 25W | ||||
| 真空度测量范围 | 0.1-10 5 Pa | ||||
| 电阻硅 | ZJ-52T | ||||
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瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空计 （方案二）
| 型号 | PCG554 | |||
| 输入电压 | 24V 1A DC（配有220V变压器） | ||||
| 真空计接口 | KF16 | ||||
| 数字显示 | 数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr | ||||
| 产品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | ||||
| 重量 | 5 lbs | ||||
| 检测气体 | 可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。 | ||||
| 是否防腐 | 防腐 | ||||
| 响应时间 | ≤30ms | ||||
| 测量范围 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | ||||
| 分子泵机组（选购）
（方案一或方案二任选一个） | 机组输入电压 | 380V /220V | |||
| 波纹管 | KF40X1000 | ||||
| 真空挡板阀 | KF40 | ||||
| 机箱尺寸 | 600X600X600 | ||||
| 分子泵 （方案一）
| 分子泵型号 | FJ620 | |||
| 输入电压 | 380V | ||||
| 分子泵进气口法兰 | DN160 | ||||
| 分子泵抽气速率L/S（对空气） | 600 | ||||
| 分子泵极限压强（Pa) | 6×10-7 | ||||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||
| 冷却水压（MPa） | 0.1-0.2 | ||||
| 冷却水温度 | <25℃ | ||||
| 环境温度 | 0~40℃ | ||||
| 建议启东压强 | <100pa | ||||
| 分子泵前级真空TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) （方案二）
| 功率 | 0.75KW | |||
| 电压 | 380V | ||||
| 转速 | 1450rpm | ||||
| 进气口径 | KF25/KF40 | ||||
| 前机泵抽气速率（L/S） | 6 | ||||
| 极限压强 | 4X10 -2Pa | ||||
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德国Pfeiffer真空泵
（方案二）
| 电压 | 220V | |||
| 功率 | 110W | ||||
| 抽气接口 | KF40 | ||||
| 重量 | 150KG | ||||
| 前机泵抽速 | 0.9m 3/ h | ||||
| 抽气速率（N2） | 33L/S | ||||
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复合真空计
| 复合真空计型号 | ZDF | |||
| 电源 | 220V 55W | ||||
| 控制精度 | ± 1% | ||||
| 真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa | ||||
一年保修，终身技术支持。
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa
3.当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当
4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击
5.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）
TL1200-1200双温区双管PECVD系统，由TL1200-1200双管管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
这款TL1200-1200 双温区双管PECVD系统以电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本成型技术氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、等优点。
双管管式炉不同于普通的管式炉，他是由双管组成、衬底包覆在内管上、形成一个环状，这样能够大大的提高CVD生长的面积。
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 进口电阻丝炉膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站：
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡
温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热，温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、认证
7、法兰
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
TL1200-1200双管双温区PECVD系统标配
| 描叙 | 数量 | 图片 |
| TL1200-1200双管管式炉 | 1 套 |
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| 石英管 | 1根 |
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| 不锈钢法兰 | 1 套 | |
| 不锈钢炉钩 | 1 个 |
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| 氧化铝炉塞 | 1对 |
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| 高温手套 | 1 双 |
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| 氧化铝坩埚 | 1个 |
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| Ｋ型热电偶 | 1个 |  |
| 485转换接口和软件（选配） | 1 套 |
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| 说明书 | 1本 | |
| 法兰支撑架 | 1对 | |
| 供气系统 | 1台 |  |
| VS-0.1抽气系统 | 1台 |  |
| 射频电源 | 1台 | |
| 卡套 | 4个 |  |
| 波纹管 | 1支 |  |
| 真空挡板阀 | 1个 |  |
| 钢瓶接头（N代表路数） | N个 |  |
| 阀门接头 | 2个 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 |  |
