RF射频电源

1200度单温区PECVD系统min型PECVD系统

1200度转动式PECVD系统

1200度滑竿式双温区PECVD系统

1700度立式CVD系统

1200度单温区四通道可调真空滑动管式炉

1200度预加热滑竿式CVD系统

1200度三温区可调真空CVD系统

1400度单温区CVD系统

1200度单温区CVD系统

1200度双温区滑竿式CVD系统

1200度单温区滑竿式CVD系统