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彩色共焦显微镜(STIL)检测原理图
STIL光谱共焦视觉检测系统有着双重作用：
-在所需的放大倍数下提供样品表面的高质量图像
-对图像进行处理，同时检测和分析一些预定义的特征或纹理
光谱共聚焦检测系统的优势
此技术结合线阵相机，形成了MC2视觉检测系统，解决了传统机器视觉在表面瑕疵检测的难点，具有明显优势：
-无需外接光源照明，光谱共焦传感器的光源即为检测所需的同轴光源；
-环境光线的变化不影响成像效果，适应性强;
-适应所有的物体表面，无论是漫反射表面，镜面(高光面)或者透明物体表面；
-高达80KHZ的扫描速度，并可实现非常低的像素尺寸(最小像素可大0.2*0.2pm2);
-可至2.6mm的高景深，在景深范围内的任何一个位置都是聚焦，成像更为清晰，无需进行Z轴对焦；
光谱共聚焦相机外形尺寸
STIL光谱共焦相机（视觉检测系统）技术参数
| 型号 | unit | MC2 NanoView | MC2 WireView | MC2 Microview | MC2 DeepView | MC2 SuperView | ||||
| 线长 | mm | 1.3 | 1.51 | 1.79 | 4.05 | 12.5 | ||||
| 景深 | μm | 100 | 500 | 500 | 2600 | 2000 | ||||
| 工作距离 | mm | 4.6 | 7.8 | 10.1 | 47.8 | 11.3 | ||||
| 放大率 | 17.3 | 15.6 | 12.9 | 5.6 | 1.8 | |||||
| 数值孔径 | 0.7 | 0.75 | 0.5 | 0.35 | 0.32 | |||||
| 样品斜率 | ° | 40 | 46 | 30 | 20 | 19 | ||||
| 样品像素大小 | μm | 0.44 | 0.48 | 0.58 | 1.3 | 4.1 | ||||
| 光学头:长度 | mm | 424 | 468.1 | 412.8 | 433.1 | 378 | ||||
| 光学头:直径 | mm | 50 | 70 | 50 | 75 | 60 | ||||
| 光学头:重量 | g | 5200 | 5800 | 5200 | 7000 | 5600 | ||||
注：以上参数如有变化，恕不另行通知。
STIL光谱共焦相机应用案例
复合材料比较
复合材料比较
字符缺陷的检测
玻璃瓶上的生产缺陷
晶圆边缘的生产缺陷
印刷线路板的生产缺陷
微构件的抛光缺陷
零件抛光缺陷检测
