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光谱共焦传感器控制器技术规格
型号 | CCC PRIMA/CCS OPTIMA+ |
---|---|
测量模式 | 位移/厚度 |
采样频率 | 100-2000Hz/100Hz-10000Hz |
编码器信号输入 | 最多3轴-TTL信号输入 |
校准表(值) | 20 |
光源 | 白色LED光源 |
数字量输出 | 30bits分辨率 |
模拟量输出 | 2路[0-10V]-16bit分辨率) |
数字信号输出 | USB2.0/RS232/RS422 |
I/O同步接口 | 输入输出TTL同步 |
通道选择 | 1/2/4 |
工作温度 | 5℃-40℃ |
存储温度 | -30℃-70℃ |
防水等级 | IP40 |
尺寸 | 162*111.5*124mm |
控制器重量 | 1400g |
电源等级 | 24V DC/20V |
光谱共焦传感器测量头技术参数
型号 | CL0 | CL1 | CL2 | CL3 | CL4 | CL5 | CL6 | ||||||||
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量程(μm) | 100 | 150 | 400 | 1400 | 4000 | 12000 | 24000 | ||||||||
工作距离(mm) | 2.69 | 3.35 | 10.8 | 12.0 | 16.2 | 25.9 | 21.5 | ||||||||
可测倾角(°) | 42 | 42.5 | 28 | 25 | 21 | 14 | 8.5 | ||||||||
放大器型号 | MG210 | MG140 | MG210 | MG140 | MG210 | MG140 | MG70 | MG140 | MG70 | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 |
光斑尺寸(μm) | 1.8 | 2.2 | 1.9 | 2.8 | 2.3 | 3.4 | 6.9 | 6.8 | 8 | 8 | 14 | 14 | 24.5 | 16 | 28 |
横向分辨率(μm) | 0.9 | 1.1 | 0.8 | 1.4 | 1.2 | 1.7 | 3.5 | 2.6 | 4 | 4 | 7.0 | 7.0 | 12.3 | 13 | 14 |
光量收集率 | 0.5 | 1.7 | 3.3 | 10 | 2.8 | 7.9 | 41 | 10 | 57 | 25 | 91 | 33 | 100 | 9.8 | 43 |
位移测量 | |||||||||||||||
不平均(nm) | 5.0 | 6.0 | 7.0 | 8.0 | 17 | 20 | 25 | 50 | 60 | 110 | 135 | 370 | 425 | 700 | 800 |
10次平均(nm) | 1.7 | 2.0 | 2.3 | 2.7 | 5.7 | 6.7 | 8.3 | 17 | 20 | 37 | 45 | 123 | 142 | 233 | 277 |
精度(nm) | 16 | 14 | 25 | 20 | 55 | 45 | 40 | 120 | 100 | 250 | 200 | 750 | 550 | 1600 | 1200 |
最小可测粗糙度Ra(nm) |
12 |
30 |
90 |
170 |
600 |
1100 | |||||||||
厚度 | |||||||||||||||
最小可测厚度(μm) | 5 | 5 | 7.5 | 9 | 14 | 14 | 22 | 38 | 40 | 110 | 120 | 350 | 550 | 590 | 725 |
可测厚度(μm) | 100 | 100 | 175 | 175 | 510 | 510 | 510 | 2000 | 2000 | 5700 | 5700 | 16500 | 16500 | 34000 | 34000 |
长度(mm) | 263.6 | 229 | 253.1 | 217.1 | 243.3 | 208.9 | 176.1 | 205.9 | 176.1 | 145.5 | 131.7 | 145.5 | 131.7 | 167.6 | 151.8 |
直径(mm) | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 |
重量(g) | 227 | 192 | 268 | 195 | 248 | 190 | 189 | 215 | 214 | 155 | 140 | 175 | 160 | 195 | 180 |
(1)表中给出的数值是典型值,CL0,CL2,CL3,CL4有±3%的偏差;CL1,CL5,CL6有±6%的偏差,;
(2)可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的可测倾角可达87°:
(3)在量程中间位置时的光斑尺寸,靠量程近端光斑更小,靠量程远端光斑更大,从中心分别到近端远端差异10%左右;
(4)光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量,是相对单位量,此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时,选择低光度收集率的型号,为了避免饱和,测量扩散或低反射的样品时,选择具有高光度收集率型号,以避免一个非常低的信号与噪声比例;
(5)轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心,以的速率进行测量,内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量,并对应交付每个传感器的校准证书;
(6)精度是由1nm精度的编码器做比较校准,由所述传感器测量距离时,在整个测量范围内的误差。使用以下设置:自动适应LED模式,的速度,倾角为0,内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量,并每个传感器的校准证书交付;
(7)最小可测量的Ra的精度取决于样品的恃性,表中所给的值是典型的;
(8)在的速度下,测量范围的中心,测量的典型值,不加平均。折射率=1.5个样本(测量空气间隙应除以1.5的厚度时);
注:以上参数如有变化,恕不另行通知。
共焦传感器光纤线规格(可选配以下)
型号 | 长度 | 内径 | 外径 | 外壳 | 连接器类型 |
E50-3 | 3m | 50/125μm | 3mm | 标准 | E2000 |
E50-5 | 5m | 50/125μm | 3mm | 标准 | E2000 |
E50-10 | 10m | 50/125μm | 3mm | 标准 | E2000 |
E50-3-M | 3m | 50/125μm | 3mm | 金属外壳 | E2000 |
E50-5-M | 5m | 50/125μm | 3mm | 金属外壳 | E2000 |
E50-10M | 10m | 50/125μm | 3mm | 金属外壳 | E2000 |
E50-20-M | 20m | 50/125μm | 3mm | 金属外壳 | E2000 |
标准型光纤线 铠甲护套型光纤线