光谱共焦传感器标准型CL系列

CCC PRIMA/CCS OPTIMA+光谱共焦传感器标准型CL系列

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-07-29 14:09:09
340
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东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司

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产品简介

可搭配CCS PRIMA/CCS OPTIMA+控制器控制器采样频率可达10KHZ量程范围100um-24000um精度可达到14nm传感器由三部分组成:控制器、光纤、测头根据实际测量需求,可选配单通道、双通道、四通道控制器光纤线可选配普通型或者铠甲护套型的。

详细介绍

光谱共焦传感器控制器技术规格

型号CCC PRIMA/CCS OPTIMA+
测量模式位移/厚度
采样频率100-2000Hz/100Hz-10000Hz
编码器信号输入最多3轴-TTL信号输入
校准表(值)20
光源白色LED光源
数字量输出30bits分辨率
模拟量输出2路[0-10V]-16bit分辨率)
数字信号输出USB2.0/RS232/RS422
I/O同步接口输入输出TTL同步
通道选择1/2/4
工作温度5℃-40℃
存储温度-30℃-70℃
防水等级IP40
尺寸162*111.5*124mm
控制器重量1400g
电源等级24V DC/20V

 

光谱共焦传感器测量头技术参数

型号CL0CL1CL2CL3CL4CL5CL6
量程(μm)100150400140040001200024000
工作距离(mm)2.693.3510.812.016.225.921.5
可测倾角(°)4242.5282521148.5
放大器型号MG210MG140MG210MG140MG210MG140MG70MG140MG70MG35MG20MG35MG20MG35MG20
光斑尺寸(μm)1.82.21.92.82.33.46.96.888141424.51628
横向分辨率(μm)0.91.10.81.41.21.73.52.6447.07.012.31314
光量收集率0.51.73.3102.87.94110572591331009.843
位移测量
不平均(nm)5.06.07.08.01720255060110135370425700800
10次平均(nm)1.72.02.32.75.76.78.317203745123142233277
精度(nm)1614252055454012010025020075055016001200

最小可测粗糙度Ra(nm)

 

12

 

30

 

90

 

170

 

600

 

1100

厚度
最小可测厚度(μm)557.591414223840110120350550590725
可测厚度(μm)100100175175510510510200020005700570016500165003400034000
长度(mm)263.6229253.1217.1243.3208.9176.1205.9176.1145.5131.7145.5131.7167.6151.8
直径(mm)272727272727272727272727272727
重量(g)227192268195248190189215214155140175160195180

(1)表中给出的数值是典型值,CL0,CL2,CL3,CL4有±3%的偏差;CL1,CL5,CL6有±6%的偏差,;
(2)可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的可测倾角可达87°:
(3)在量程中间位置时的光斑尺寸,靠量程近端光斑更小,靠量程远端光斑更大,从中心分别到近端远端差异10%左右;
(4)光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量,是相对单位量,此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时,选择低光度收集率的型号,为了避免饱和,测量扩散或低反射的样品时,选择具有高光度收集率型号,以避免一个非常低的信号与噪声比例;
(5)轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心,以的速率进行测量,内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量,并对应交付每个传感器的校准证书;
(6)精度是由1nm精度的编码器做比较校准,由所述传感器测量距离时,在整个测量范围内的误差。使用以下设置:自动适应LED模式,的速度,倾角为0,内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量,并每个传感器的校准证书交付;
(7)最小可测量的Ra的精度取决于样品的恃性,表中所给的值是典型的;
(8)在的速度下,测量范围的中心,测量的典型值,不加平均。折射率=1.5个样本(测量空气间隙应除以1.5的厚度时);

 注:以上参数如有变化,恕不另行通知。

 

共焦传感器光纤线规格(可选配以下)

型号长度内径外径外壳连接器类型
E50-33m50/125μm3mm标准E2000
E50-55m50/125μm3mm标准E2000
E50-1010m50/125μm3mm标准E2000
E50-3-M3m50/125μm3mm金属外壳E2000
E50-5-M5m50/125μm3mm金属外壳E2000
E50-10M10m50/125μm3mm金属外壳E2000
E50-20-M20m50/125μm3mm金属外壳E2000

 

 

                

        标准型光纤线                                    铠甲护套型光纤线

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