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光谱共焦传感器控制器技术规格
| 型号 | CCC PRIMA/CCS OPTIMA+ |
|---|---|
| 测量模式 | 位移/厚度 |
| 采样频率 | 100-2000Hz/100Hz-10000Hz |
| 编码器信号输入 | 最多3轴-TTL信号输入 |
| 校准表（值） | 20 |
| 光源 | 白色LED光源 |
| 数字量输出 | 30bits分辨率 |
| 模拟量输出 | 2路[0-10V]-16bit分辨率） |
| 数字信号输出 | USB2.0/RS232/RS422 |
| I/O同步接口 | 输入输出TTL同步 |
| 通道选择 | 1/2/4 |
| 工作温度 | 5℃-40℃ |
| 存储温度 | -30℃-70℃ |
| 防水等级 | IP40 |
| 尺寸 | 162*111.5*124mm |
| 控制器重量 | 1400g |
| 电源等级 | 24V DC/20V |
光谱共焦传感器测量头技术参数
| 配备CCS Prima控制器技术参数 | ||||
| 传感器 | 单位 | EVEREST-K1 | EVEREST-K2 | EVEREST-K6 |
| 测量范围 | µm | 1000 | 2000 | 6000 |
| 工作距离 | mm | 18.5 | 19.2 | 13.7 |
| 反射角度 | deg | 44° | 42° | 32° |
| 精度(线性误差) | nm | < 100 | 150 | 350 |
| 横向分辨率 | nm | < 50 | 75 | 200 |
| 光斑直径 | µm | 8 | 7 | 10.4 |
| 数值孔径(N.A) | 0.7 | 0.67 | 0.55 | |
| 最小可测厚度 | µm | < 50 | 100 | 150 |
| 外观尺寸 | ||||
| 长 | mm | 260.5 | 243.4 | 136.3 |
| 直径 | mm | 82 | 82 | 47 |
| 重量 | g | 1400 | 1250 | 925 |
注：以上参数如有变化，恕不另行通知。
共焦传感器光纤线规格（可选配以下）
| 型号 | 长度 | 内径 | 外径 | 外壳 | 连接器类型 |
| E50-3 | 3m | 50/125μm | 3mm | 标准 | E2000 |
| E50-5 | 5m | 50/125μm | 3mm | 标准 | E2000 |
| E50-10 | 10m | 50/125μm | 3mm | 标准 | E2000 |
| E50-3-M | 3m | 50/125μm | 3mm | 金属外壳 | E2000 |
| E50-5-M | 5m | 50/125μm | 3mm | 金属外壳 | E2000 |
| E50-10M | 10m | 50/125μm | 3mm | 金属外壳 | E2000 |
| E50-20-M | 20m | 50/125μm | 3mm | 金属外壳 | E2000 |
标准型光纤线 铠甲护套型光纤线
