产品介绍

小型射频等离子清洗机TS-PL10MA产品参数：

小型射频等离子清洗机TS-PL10MA产品特点：

的密封性腔体:采用进口316不锈钢腔体，级的高真空度真空腔体设计及制造工艺。

高密度等离子电源技术：采用进口等离子电源电路技术，确保出众的清洗效果。

放电技术：特殊处理的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。

高精度气体流量监测系统：两种工艺气体配置(氩气、氧气等非腐蚀性气体），双路气流控制，比例可调，采用MFC质量流量计、气体管路及阀件。

优质产品部件：产品部件采用国内外优质品牌，确保设备性能*。

数字计时单元：1-9999s选择范围时间显示，处理过程结束后自动终止。

适用形状复杂样品：清洗各种复杂形状的产品，包括内孔内壁，均匀清洗。

处理全程无污染 ：等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何污染。

射频等离子清洗机的基本构造：

根据用途的不同，可选用多种构造的等离子清洗设备，并可通过选用不同种类的气体，调整装置的特征参数等方法使工艺流程实现化。 但等离子清洗机的基本结构大致是相同的， 一般装置可由真空室、真空泵、射频电源、电 极、气体导入系统、工件传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵，射频电源通常用13.56 MHz的无线电波。设备的运行过程如下：

（1 ）被清洗的工件送入真空室并加以固定， 启动运行装置，开始排气，使真空室内的真空程度达到10 Pa 左右的标准真空度。一般排气时间大约需要 2 min。

（2 ）向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在100Pa。 根据清洗材质的不同，可分别选用氧气、氢 气、氩气或氮气等气体。

（3 ）在真空室内的电极与接地装置之间施加 高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发 生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体笼罩住被处理工件，开始清洗作业。一 般清洗处理持续几十秒到几分钟。

（4 ）清洗完毕后切断高频电压，并将气体及气化的污垢排出，同时向真空室内鼓入空气，并使气压升至一个大气压。