产品介绍

小型等离子清洗机TS-PL30MA产品参数：

等离子清洗机的基本构造：

根据用途的不同，可选用多种构造的等离子清洗设备，并可通过选用不同种类的气体，调整装置的特征参数等方法使工艺流程实现化。 但等离子体清洗装置的基本结构大致是相同的， 一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、电 极、气体导入系统、工件传送系统和控制系统等 部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵，高频电源通常用13.56 MHz的无线电波。

等离子清洗机工作原理：

等离子清洗是依靠特定物质等离子体中的高 能粒子流冲击需要清洁的物体表面，产生物理冲击（如氩等离子体）或化学反应（氧等离子体）来实 现去除物体表面污渍的功能。目前，大多数等离子 清洗系统通过降低反应仓的压力到 100 Pa 以下， 然后以一定的速度通入合适的气体并启动电源来获得等离子体。

等离子清洗的技术特点是，它不分 处理对象，可处理不同的基材。无论是金属、半 导体、氧化物还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯 乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚脂、环氧树 脂等高聚物）都可用等离子体很好地处理。因此， 特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。而且还可 以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部 分清洗。 在完成清洗去污的同时，还能改变材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能，改善 膜的附着力等，这在许多应用中都是非常重要的。