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小型射频等离子清洗机TS-PL10MA产品参数:
名称 | 小型射频等离子清洗机TS-PL10MA-S |
控制方式 | PLC+触摸屏 |
供电电源 | AC220V(±10V)50/60Hz |
整机功率 | 1.5KW(含真空泵) |
等离子源功率 | 300W(0-300连续可调) |
等离子源频率 | 13.56MHz,自动阻抗匹配 |
清洗时间 | 1-9999s 可调 |
真空度 | <80Pa |
工艺气体 | 二路工艺气体 |
外形尺寸(mm) | 500mm ×550mm ×750mm(长×宽×高) |
的密封性腔体:采用进口316不锈钢腔体,级的高真空度真空腔体设计及制造工艺。
高密度等离子电源技术:采用进口等离子电源电路技术,确保出众的清洗效果。
放电技术:特殊处理的放电装置,确保形成稳定均匀的等离子体。
高精度气体流量监测系统:两种工艺气体配置(氩气、氧气等非腐蚀性气体),双路气流控制,比例可调,采用MFC质量流量计、气体管路及阀件。
优质产品部件:产品部件采用国内外优质品牌,确保设备性能*。
数字计时单元:1-9999s选择范围时间显示,处理过程结束后自动终止。
适用形状复杂样品:清洗各种复杂形状的产品,包括内孔内壁,均匀清洗。
处理全程无污染 :等离子清洗机本身是很环保的设备,无产生任何污染,处理过程也无产生任何污染。
根据用途的不同,可选用多种构造的等离子清洗设备,并可通过选用不同种类的气体,调整装置的特征参数等方法使工艺流程实现化。 但等离子体清洗装置的基本结构大致是相同的, 一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、电 极、气体导入系统、工件传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵,高频电源通常用13.56 MHz的无线电波。设备的运行过程如下:
(1 )被清洗的工件送入真空室并加以固定, 启动运行装置,开始排气,使真空室内的真空程度达到10 Pa 左右的标准真空度。一般排气时间大约需要 2 min。
(2 )向真空室引入等离子清洗用的气体,并使其压力保持在100Pa。 根据清洗材质的不同,可分别选用氧气、氢 气、氩气或氮气等气体。
(3 )在真空室内的电极与接地装置之间施加 高频电压,使气体被击穿,并通过辉光放电而发 生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体笼罩住被处理工件,开始清洗作业。一 般清洗处理持续几十秒到几分钟。
(4 )清洗完毕后切断高频电压,并将气体及气化的污垢排出,同时向真空室内鼓入空气,并使气压升至一个大气压。