微波杀菌设备主要由微波开关电源、微波管、连接波导、加热器和冷却系统等组成。

　　1、磁控管是微波的发生装置。它由电源提供直流高压电流，并使输入能量转换成微波能量。磁控管有线性束管和交叉场型管等多种。食品工业多采用多谐振磁控管即交叉场型管。

　　2、波导器件是完成微波传送、相互连接、耦合以及换向等传输作用的，微波加热常采用截面的长空心金属管。波导中的激励与耦合装置的作用分别为在波导中建立所需电磁场模式。另一种非可逆的传 输器件是环行器，常用于连接微波源和谐振腔，当谐振腔中因物料不能全部吸收微波功率时，部分反射功率通过环行器进入张端负载，以保护磁控管。

　　3、谐振腔即加热器，是完成微波能量与介质相互作用的器件。常用形式有箱型、波导型、辐射型和表面波导型等。

　　4、漏能抑制器设在加热器的物料出入处，以防止谐振腔中的电磁波外泄而伤害人身。