1、微波发生源：俗称磁控管，它将电能转化为微波能。

　　2、微波腔体：即工业微波烘干设备的内部空间，物料在微波腔体内被加热干燥或灭菌。

　　3、输送物料机构：指轨道或传送带等输送机构。

　　4、抑制部分：如微波炉门、抑制器和其它抑制机构，防止并控制微波泄露达到国标要求。

　　5、波导：由微波发生源发出的微波经波导激励腔进入微波腔体内，其作用是将微波的能量通过波导的激励取出所需要的模式到需要加热干燥杀菌的载体上。

　　6、排湿排热机构：排出微波箱体内的蒸汽和电源箱内的电热气，解决微波箱体内的过热过温问题。

　　7、测量系统：如测量物料的温度和干燥室内的湿度，这些测量数据直接通过仪表显示出来。

　　8、自动控制系统和操作界面：这一部分主要包括(PLC)可编程控制器和触摸屏。由可编程控制器接收测量数据和设备各部分的有关信号，并接受操作人员的控制，从而控制整台设备的运行，通过触摸屏设置各种工艺参数和显示工作过程中的有关状态。

　　9、其它：如电力驱动部分，冷却机构，安全保护和声光报警，其它配套部分等可按要求设置。

　　微波技术的应用领域不断扩大，工业微波设备的结构形式、功率配置和附属机构是根据具体生产工艺而确定的。