美国 KRI 霍尔离子源 eH 3000
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伯东企业(上海)有限公司
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美国 KRI 霍尔离子源 eH 2000
伯东 KRI 霍尔离子源 eH 3000 特性:
1.水冷 - 加速冷却
2.可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时,限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极
3.宽波束高放电电流 - 高电流密度; 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率
4.多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统; 安装方便
5.高效的等离子转换和稳定的功率控制
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