美国 KRI 霍尔离子源 eH 3000

美国 KRI 霍尔离子源 eH 3000

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-10-06 17:09:26
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产品简介

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 3000 大型真空系统, 与友厂大功率离子源对比, eH 3000 是目前市场上, 提供离子束流的无栅网离子源.尺寸: 直径= 9.7 高= 6放电电压 / 电流: 50-300V / 20A操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

详细介绍

美国 KRI 霍尔离子源 eH 3000 产品特性:

伯东 KRI 霍尔离子源 eH 3000 特性:

1.水冷 - 加速冷却

2.可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时,限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极

3.宽波束高放电电流 - 高电流密度; 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率

4.多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统; 安装方便

5.高效的等离子转换和稳定的功率控制

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