美国 KRI 射频离子源 RFICP 140
品牌
代理商厂商性质
所在地
伯东企业(上海)有限公司
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伯东 KRI 射频离子源 RFICP 140 技术参数:
型号
RFICP 140
Discharge
RFICP 射频
离子束流
>600 mA
离子动能
100-1200 V
栅极直径
14 cm Φ
离子束
聚焦, 平行, 散射
流量
5-30 sccm
通气
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型压力
< 0.5m Torr
长度
24.6 cm
直径
中和器
LFN 2000
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