美国 KRI 射频离子源 RFICP 220

美国 KRI 射频离子源 RFICP 220

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-10-06 17:06:59
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伯东企业（上海）有限公司

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产品简介

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 220, 大面积高能量栅网离子源.离子束流: 800 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量(Typical flow): 10-40 sccm; 压力: 0.5m Torr离子束可聚焦, 平行, 散射.采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长.......

详细介绍

美国 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数：

伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数:

离子源型号

RFICP 220

Discharge

RFICP 射频

离子束流

>800 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

20 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

10-40 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

30 cm

直径

41 cm

中和器

LFN 2000

* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量

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