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甲岸科技等离子去胶机12L
甲岸科技等离子去胶机对电路板、外延片、芯片、环氧基光刻胶去除,提高材料清洁度、附着力、粘接力以及表面分子的活性,满足用户对产品表面处理需求。
产品应用
1、适用于所有的基材及复杂的几何构形进行等离子体去胶、活化、刻蚀、清洗、镀膜
2、提高材料清洁度、附着力、粘接力以及表面分子的活性
产品特点
型 号 | AP-RR8 | ||
等离子源系统 | 频 率 | 13.56MHz 射频 | |
功 率 | 0~300W可调 | ||
真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 石 英 |
腔体内部尺寸 | Φ250 * Dept.260(直径*深mm) | ||
腔体容积 | 12 L | ||
处理***尺寸 | 8英寸 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不锈钢管、不锈钢波纹管 | ||
真空计 | 1×105~1×10-1Pa | ||
质量流量计 | <±1% FS | ||
气路控制 | 4路处理气体气路,气体流量可调 | ||
极限真空 | 5Pa | ||
流量范围 | 0-500SCCM(可调) | ||
工艺气体 | Ar、N₂、O₂、H₂等等(可选) | ||
外观参数 | 外形尺寸(MM) | 750*450*500(宽*高*深) | |
重 量 | 55KG | ||
设施配置 | 电 力 | 单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 |