石英真空等离子清洗机-深圳市甲岸科技有限公司手机版

详细介绍

甲岸科技石英真空等离子清洗机

甲岸科技石英真空等离子清洗机采用石英腔体设计，密封性；13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果，满足用户对小产品表面处理及实验测试的需求，同时可以节约用户成本，用合适的预算完成自己的目标。

产品应用

1、对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等，表面进行清洗，活化改性，去有机物，去氧化物，去颗粒；

2、提升亲水性，增强粘接性，附着力，分子活性。

产品特点

型号	AP-VM05
等离子源系统	频率	13.65MHz 射频
	功率	0-300W （连续可调，精度为1W）
真空系统	真空腔体	材质	石英
		腔体内部尺寸(MM)	D160260（直径深度)
		腔体容积	5 L
		密封性	级焊接密封
	泵	真空泵	油泵/干泵（选配）
	处理温度	＜60°C
	流量计	0-500ml/min
	气路控制	2路处理气体气路，气体流量可调
	真空度	10Pa --100Pa
	工艺气体	Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂等（可选）
外观参数	外形尺寸(MM)	750450500 (宽高深）
	重量	55KG
设施配置	电力	单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。