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甲岸科技真空等离子清洗机 200L
甲岸科技真空等离子清洗机采用8K镜面不锈钢腔体设计,密封性;高密度等高子体,确保出众的清洗效果,满足用户对产品表面处理需求。
产品应用
1、对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等,表面进行清洗,活化改性,去有机物,去氧化物,去颗粒;
2、提升亲水性,增强粘接性,附着力,分子活性。
产品特点
型 号 | AP-VM200 | |||
等离子源系统 | 频 率 | 13.56MHz 射频 | 40KHz 中频 | |
功 率 | 0~1000W可调 | 0-5000W可调 | ||
选配 | ||||
真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 316L不锈钢、航空铝(选配) | |
腔体内部尺寸(MM) | 500*700*600 (宽*高*深) | |||
极板有效尺寸(MM) | 480*500 (宽*深) | |||
极板 | 22层,水平式,活动可调节 | |||
腔体容积 | 200L | |||
密封性 | 级焊接密封 | |||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵+罗茨泵组合(选配) | ||
真空管路 | 不锈钢管、不锈钢波纹管 | |||
真空计 | 1×105~1×10-1Pa | |||
质量流量计 | <±1% FS | |||
气路控制 | 2-4路处理气体气路,气体流量可调 | |||
极限真空 | 5Pa | |||
适用气体 | 流量范围 | 0-500SCCM(可调) | ||
工艺气体 | Ar、N₂、O₂、H₂等等(可选) | |||
外观参数 | 外形尺寸(MM) | 1050*1700*1080(宽高深) | ||
重 量 | 280KG | |||
设施配置 | 电 力 | 五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定 |