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甲岸科技铜箔铝箔卷对卷等离子清洗机
甲岸科技铜箔铝箔卷对卷等离子清洗机对PI、Coverlay、PTFE材料等卷式材料，钢带、铜箔等产品表面进行清洁、清洗、粗化、活化、碳化处理，有效的提升产品表面的亲水性、附着力以及粘接力等满足用户对产品表面处理需求。
产品应用
1、用于PI、Coverlay、PTFE材料等卷式材料，钢带、铜箔等产品表面进行清洁、清洗、粗化、活化、碳化处理
2、提升亲水性，增强粘接性，附着力，分子活性。
产品特点
型 号 | AP-RTR8000 | ||
设备主机 | 主机尺寸 | 1860mm长 X 1470mm宽 X 2000mm高 | |
重量 | 2550Kg | ||
安装面积 | 3500mm X 5500mm(含开门上下板位置) | ||
电极 | 电极分布 | 垂直分布，每片电极独立冷却 | |
电极数量 | 16片 | ||
RF 电源系统 | 品牌/型号 | AE 10KW | |
功率@频率 | 10KW @ 40KHZ | ||
工艺气体流量控制系统 | 流量控制器 | parker气体流量控制器 | |
标准配置4路气体 | 一路2000sccms,三路5000sccms | ||
软件控制系统 | 人机界面+PLC | ||
真空泵系统 | 真空泵组 | 抽速能力1160 m3/h / 1900m3/h （可选） | |
真空工作力 | 进气氧气流量2.5-3.0L/min状态下，工作压力可控范围180-300mTorr | ||
生产能力 | 生产板***尺寸 | 25X44 inch （21*24 inch 30块/炉） | |
标准生产板厚度 | 0.1-9mm(0.5以下薄板需定制软板夹具） | ||
生产板***小尺寸 | 4 X 4inch | ||
