◆ 1. 自动化功能

高度集成自动化功能追求高效率检测

降低检测中的人为操作误差

                        4英寸自动马达台                                                自动更换悬臂功能

◆ 2. 可靠性

排除机械原因造成的误差

 大范围水平扫描

采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。

AFM5500M搭载了新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。

                          Sample ：Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

 高精角度测量

普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。

AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。

Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

* 使用AFM5100N（开环控制）时

◆ 3. 融合性

亲密融合其他检测分析方式

通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察・分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。

SEM-AFM在同一视野观察实例（样品：石墨烯/SiO2）

          The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.

上图是AFM5500M拍摄的形状像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。

 通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。

 石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。

 SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。

今后计划与其他显微镜以及分析仪器的联用。

 AFM5500M 主机

* 参数与设备配置及放置环境相关。

AFM5500M 专用原子力显微镜工作站

* WINDOWS 是、美国 Microsoft Corporation 在美国及美国以外国家注册商标。

* RealTune是日立高新科学公司在日本、美国以及欧洲的注册商标。

选配项：SEM-AFM联用系统