zonglen半导体温控平台及设备

热控卡盘平板又叫控温卡盘、控温平板、快速温变卡盘、高低温控温卡盘，该设备系统自身带制冷系统，避免了液氮、二氧化碳的消耗，提供了一个精确可控的温度平台，可以快速加热、冷却或保持温度

zonglen半导体温控平台及设备

热控卡盘的加热时间和热均衡时间比任何基于水或空气的系统都要快得多，是测试具有平坦表面并且结构扁平器件的理想方式，比如射频组件和高功率密度器件 (IGBT或MOSFET等)
采用制冷剂直接蒸发的制冷方式，大幅提升了换热效率。

zonglen半导体温控平台及设备 主要特点：

l 转换速率快

l 温度稳定性±1°C

l 支持程序化测试

l 体积小，可桌面放置

l 免维护

zonglen半导体温控平台及设备

应用程序：

l 具有平坦表面的小尺寸器件和高密度功率器件测试(如IGBT和MOSFET)

l SLT和Handler中的预冷和预热热平台

l 实验室、医疗、电池冷却，样品冷却

• 半导体激光器、激光晶体，激光倍频晶体温度控制

• 固体温度控制、实验、科研温度控制

• 高低温实验等