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XYR对位平台

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产品简介

XYR对位平台

详细信息

紧凑型XYR对位平台

三轴精密直驱精密对位平台
采用直线电机驱动
全闭环机构

操作简单，可靠性远高于通过拟合运动的直线对位平台

主要参数：
XY有效行程：±110mm
R轴有效形成：±5°

XY轴分辨率：0.5um
XY轴最小步长：1um

R轴分辨率：1.5sec
R轴重复定位精度：≤±5sec

外形尺寸：

无需算法控制，XYR直接调节
使用寿命高达：5年

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