MSLM-120X100-INXY-E50倒置显微镜直线电机平台

匹配显微镜型号：

OLYMPUS IX53/73/83

NIKON Ti

接受其它显微镜型号定制

MSLM-100X100-INXY-E50工业显微镜直线电机平台是专门针对主流研究级倒置显微镜设计开发的产品，相比传统的丝杆驱动平台，它具有精度更佳、响应更快、速度更高、寿命更长的优点。而且由于直线电机属于非接触式直驱机构，几乎无噪音，是传统显微镜平台的优化升级产品。

主要尺寸及性能参数：

●行程：120mm x 100mm

●光栅分辨率：50nm

●最小步长：100nm

●重复定位精度：≤±250nm

●速度：≥300mm/s

●导轨类型：交叉滚柱导轨

●负载：≥5kg

●直驱机构，无回程间隙

●主体材质：航空级铝合金

●表面处理：上滑台面喷砂及硬质阳极氧化，其余结构件普通阳极氧化

产品型号命名规则：

MSLM - 120X100 - INXY - E50

    1            2               3       4

1MSLM是直线电机显微镜平台的英文缩写

2120x100代表着该型号产品的有效行程，单位mm，如需其它行程，可联系厂家沟通定制

3INXY代表工作轴方向及类型，IN是INVERT倒置的意思，默认按照笛卡尔坐标系确认方向

4E50代表该型号产品光栅的分辨率，单位nm，默认产品分辨率为50nm，可选20nm/100nm/0.5um/1um/5um等，分辨率的改变会导致平台速度以及重复定位精度的变化，详细情况请进一步咨询厂家

特别注意事项：

1、直线电机平台属于高精度精密设备，因此如果希望得到性能，需要保证足够的使用环境，尤其在使用要求重复定位精度小于1um的设备上，所有指标的复现都需要满足一定的温度、湿度、气压、振动等，详细要求可进一步联系厂家咨询沟通