预压型高精度气浮直线电机平台

产品主要特征：

●天然花岗岩基座，平面度

●气浮导轨，无摩擦力、超高平面度

●直驱机构，无回程间隙

●全闭环反馈，分辨率高达5nm

●预压型机构，保证足够的系统刚性

●表面经过喷砂以及阳极氧化处理，美观又经久耐用

RX160-X系列气浮平台是我司设计的气浮直线电机产品，该系列产品采用天然花岗岩做基座，气浮导轨导向及支撑，具有非常优秀的平面度、直线度，结合高精度线性放大器可以达到非常理想的重复定位精度及定位精度。

主要性能参数：

*也可选用数字量光栅，详询厂家

**普通PWM驱动器默认值为5%上限，如需要低于1%速度波动，需要线性驱动器

**平台速度取决于有效行程、光栅分辨率以及光栅和驱动器的时钟频率，不同配置会导致此项参数上限值的变化，详询厂家

***此数据为实验室实测数据上限，如有更高要求，需搭配AOZ-MCS系列控制器，详询厂家

****此数据为标定后参数

RX160-X外形尺寸图

*实际尺寸会根据客户所需的行程来确定

**如需要进一步的尺寸信息或者3D图档，请直接联系厂家

产品型号命名规则：

RX160 - X - ER 5 C15

         1     2       3  4     5

1RX160为产品系列，ABX为直线电机平台的英文缩写，160代表着平台滑块部分的宽度

2X代表着该型号产品的有效行程，单位mm，该系列从100-500mm行程中可根据要求任意定制，如需其它行程，可联系厂家沟通定制

3ER代表编码器的类型，所有直线电机产品默认采用直线开放式光栅

45代表该型号产品光栅的分辨率，单位nm，默认产品分辨率为5nm，为模拟量光栅4096细分后所得，分辨率的改变会导致平台速度以及重复定位精度的变化，详细情况请进一步咨询厂家

5C15代表设备出线长度为1.5m，单位m，默认产品出线长度1.5m，可选0.5m/1m/3m/5m等，写作05/10/30/50，出线长度会因产品型号不同存在误差，如设备对出线长度要求较高，请联系厂家进一步沟通

特别注意事项：

1、直线电机平台属于高精度精密设备，因此如果希望得到性能，需要保证足够的使用环境，尤其在使用要求重复定位精度小于1um的设备上，所有指标的复现都需要满足一定的温度、湿度、气压、振动等，详细要求可进一步联系厂家咨询沟通

3、气浮平台需搭配空压机、储气罐、冷干机、油水分离器、过滤器、干燥器、调压阀等辅助配件，详细规格请咨询厂家