OTF-1200X-80-I-F3LV  1200℃单温区三通道混气CVD系统

OTF-1200X-80-I-F3LV 1200℃单温区三通道混气CVD系统

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-02-01 09:25:43
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天津市科器高新技术有限公司

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产品简介

OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统

详细介绍

OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.

技术参数

高温炉壳体

  • 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55
  • 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

功率

2.5 KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz

加热元件

掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其延长使用寿命)

工作温度

1200

连续工作温度

1100

升温速率

<= 20

炉管材质和尺寸

石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm

加热区长度

400 mm

恒温区长度

150 (+/-1 )

控温系统

PID30段程序化控温

控温精度

+/- 1

真空密封系统

两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),漏气率6 mtorr/min

真空泵

采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。

数字式真空显示计

  • 美国进口CVM-211数显真空计,已安装在不锈钢法兰上,测量范围为10-4Torr~1000Torr
  • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

混气系统

  • 三个浮子流量计(准确率4%FS)
  • 三路浮子量程分别为
  • 10-100 cc/min.
  • 16-160 cc/min.
  • 25-250 cc/min
  • 内部安装有一混气罐

尺寸

  • 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm
  • 混气系统尺寸: 600x600x597 mm

净重

60kg

运输重量

200

质保期

一年质保期(不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件)

CE Certificate

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