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KSL-1700X-H2 12升1700℃氢气炉
面议OTF-1200X-II-80HG 双温区湿度可控氢气热处理炉
面议OTF-1200X-R-60HG 氢气双温区回转炉
面议GSL-1600X-42HG 1600℃小型氢气管式炉
面议OTF-1200X-60HG 1100℃高压氢气管式炉
面议GSL-1500X-50HG 1500℃小型氢气管式炉
面议DHF-1800-40 直热式加热炉
面议VHP-5T-4 500ºC 真空热压机
面议OTF-1200X80-HPV-III 三温区1100℃高温高压炉
面议OTF-1200X-HP-12 小型高温高压管式炉
面议真空热压炉
面议小型钛金属反应釜
面议 OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉,专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD,炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体的顶端和底部,其升温速率高达20ºC/S 。温控系统为PID30段程序化控制,控温精度为+/-1ºC。仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出.
技术参数
真空腔体 |
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真空法兰 |
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混气系统 | 可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用(本公司生产多路浮子和多路质子混气系统)
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加热元件和载样台 |
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两个S型热电偶分别安装在上下法兰上 |
温控系统 |
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工作温度 |
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加热和冷却速率 |
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电源 | 208 - 240VAC, 单相, (需20A的空气开关) |
可选配件 |
本公司出售真空泵和水冷系统
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质保期 | 一年质保期 (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 ) |
质量认证 | CE |