关于RTP 炉子

• 炉体结构: 双层Al2O3纤维钢构，无需水冷或风冷,内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
• 加热元件: 8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm)
• 加热区: 4"X12" length （ +/-5oC ）
• 石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
• 真空法兰: 不锈钢制作，带有水冷接口和针阀，双层高温”O“型圈密封。 长时间在 > 900oC 条件下运行必须采用水冷
• 循环水流量: 0.5 m³ /hr
• 温控仪: 通过可控硅（SCR) PID 自动控制
• 带自整定功能的30 程序精确控制
• 具有过热保护和断偶保护功能
• 控温精度: +/- 0.5oC
• RS485 接口可与电脑连接
• 包含软件(要求Window XP/7 系统)
• 升温速度: 室温~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec
• 工作温度: 1100oC
• 功率: 208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 9 KW Max. (> 60A 保险)
• 尺寸: 760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)
• 重量: 45 kg (100 lbs)

结构

关于真空泵和气体流量计

• 3个气体流量计 (量程40-400 cc/min ， 精度4% FS) 安装在移动架底部,显示每路气体的流量。
• 高速真空泵2TW-4C-220v（真空度可达f 10-2 torr）. 通过橡胶管与RTP炉子相连.
• 4个不锈钢针阀（移动架的侧面）分别控制3路进气和一路混合气。
• 4个压力表（移动架的正面）分别显示每路气体和混气的压力。
• 尺寸: 600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H)
• 重量: 210 lbs
• 保修期: 一年质保期(耗材：如炉管,“O"型圈 和红外灯等不在保修范围内）