OTF-1200X-80-I-F3LV 1200℃带3通道混气真空管式炉

OTF-1200X-80-I-F3LV 1200℃带3通道混气真空管式炉

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-01-28 10:02:03
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天津市科器高新技术有限公司

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产品简介

OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到10-2torr

详细介绍

OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr。

技术参数


高温炉壳体

  • 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55
  • 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

功率

2.5 KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz

加热元件

掺钼铁鉻铝,表面涂有氧化锆涂层,可以的延长仪器的使用寿命

工作温度

1200

连续工作温度

1100

升温速率

<= 20

炉管材质和尺寸

石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm

加热区长度

400 mm

恒温区长度

150 (+/-1 )

控温系统

PID30段程序化控温

控温精度

+/- 1oC

真空密封系统

两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),漏气率6 mtorr/min

真空泵

采用双旋机械泵,机械泵上安装有进口的油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。

数字式真空显示计

美国进口CVM-211,已安装在不锈钢法兰上,测量范围为10-4Torr~1000Torr

混气系统

三个浮子流量计(准确率4%FS)

三路浮子量程分别为

10-100 cc/min.
16-160 cc/min.
25-250 cc/min

内部安装有一混气罐

尺寸

炉体尺寸: 550 x 380 x 520 mm, 混气系统尺寸: 600x600x597 mm

净重

60kg

运输重量

200

质保期

一年质保期(不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件)

CE Certificate

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