THERMOVAC 变送器真空计 TTR 911 N、TTR 911 N S、TTR 911 N C、 TTR 911 N SC-安博元科技无锡有限公司手机版

详细介绍

说明

TTR 911 N THERMOVAC 系列真空变送器可提供从 5×10-5 到 1000 毫巴的较大测量范围，基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性的测量结果。

配备 RS232 数字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 数字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的变送器版本可设置变送器参数，并可提供实时压力测量结果。更多详情，请参阅通信协议 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配备集成式触屏显示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的变送器版本能够监控基本的变送器参数。更多详情，请参阅第 6.4 章。

TTR 911 N THERMOVAC 变送器用途广泛，可用作独立装置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 THERMOVAC 变送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。

每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外，每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。

变送器拥有多达三个机械继电器，这些继电器可用于过程控制，例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备，用于获取压力读数，或进行压力控制。

传感器技术

变送器具备单独的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统)) 传感器元件，元件测量基于热传导性。MEMS Pirani 传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片，其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状，空腔内无法进行对流，因此，传感器对安装位置并不敏感。通过扩散，气体分子只到达热元件，在此处可测量气体的热损耗。传感器元件极为坚固耐用，可承受较高重力和瞬间空气涌入。

应用

变送器可用于众多不同领域的真空应用中，如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:

· 一般真空压力测量

· 前级管道和粗抽压力测量

· 气体回填测量和控制

· 质谱仪控制

· 启动超高真空电离 (UHV) 规

· 系统过程控制

· 检测异常压力，利用继电器设定点采取妥当的安全措施

· 控制系统压力

P/N: 89656V02 和 230701V02 含有 Parylene-HT®涂层传感器。

Parylene-HT®是保形涂层，气体阻隔性，不释气。与标准 MEMS Pirani 相比，Parylene-HT®涂层传感器对各种腐蚀性气体的耐受性更强。涂层覆盖整个传感器芯片，包括接线。因此，暴露于处理气体的材料只有 Parylene-HT®涂层。如需更多详情，请联系应用支持部门。

废弃处理

TTR 911 N 变送器是根据 RoHS (在电子电气设备中限制使用某些有害物质) 指令制造的。

技术数据

测量原理: 热传导性依据 MEMS Pirani 传感器而定

测量范围 (N2 和空气): 5×10-5 至 1000 毫巴


精确度(1) (N2):		5×10-4 至 1x10-3 毫巴:		误差是读数的	±10%
		1×10-3 至 100 毫巴:		误差是读数的	±5%
		100 至 1000 毫巴:		误差是读数的	±25%

重复性(1) (N2):		1×10-3 至 100 毫巴:		误差是读数的	±2%

电源电压:				9-30 伏直流
功耗:				< 1.2 瓦
熔丝 (热可恢复):				200 毫安
模拟输出 (100 欧阻抗):				0.61-10 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十进制
模拟输出分辨率:				16 位
模拟输出更新率:				16 赫兹
传感器故障，模拟输出:				0.5 伏

材料暴露于真空(2):
P/N: 89654V02、89660V02、230700V02:				304 号不锈钢、密封材料 FPM
P/N: 89656V02、230701V02:				304 号不锈钢、密封材料 FPM、Parylene-HT®

机械设定点继电器:
P/N: 89660V02:				3
P/N: 89654V02、89656V02:				2

设定点继电器范围:				2×10-4 至 1000 毫巴
设定点继电器触点额定值:				1 安/30 伏直流/交流 (电阻性负载)
设定点继电器响应时间:				< 100 毫秒
设定点继电器触点电阻:				100 毫欧 (值)
设定点继电器触点耐久性:				100000 循环 (最小值) (30 伏直流/1 安负载)
设定点继电器触点耐久性:				2000000 循环 (最小值) (30 伏直流/0.2 安负载)

软件设定点继电器:
P/N: 230700V02、230701V02:				2

数字接口循环时间				1 毫秒

内部容积:	KF16:		2.80 厘米3

外壳材质:				304 号不锈钢

重量:
P/N: 89654V02、89656V02:				292 克
P/N: 89660V2:				168 克
P/N: 230700V02、230701V02:				338 克

允许压力:				6 巴
运行温度:				0 至 40 °C (32 至 104 °F)
烘烤温度 (电源关闭):				85 °C (185 °F)
灯丝温度:				超过室温 35 °C
异物防护等级:				IP40
泄漏速率:				< 5∙0-9 毫巴∙升/秒
(1) 精确度和重复性数值是零位调整后在室温氮气氛下测得的典型数值。
(2) 如需暴露于处理气体的所有材料的完整列表，请联系LEYBOLD。

Parylene-HT®是Specialty Coating Systems, Inc 的商标。

配件和备件编号

零件	产品号
TTR 911 N，DN16 KF，Display，2SP	89654V02
TTR 916 N C，DN16 KF，Display，2SP	89656V02
TTR 911 N，DN16 KF，RS232	89660V02
TTR 911 N，DN16 KF，EtherCat	230700V02
TTR 911 N C，DN16 KF，EtherCat	230701V02
备用传感器 TTR 911 N/TTR 916 N，DN16 KF	230650V02
备用传感器 TTR 911 N C/TTR 916 N C，DN16 KF	230651V02

Display 1	230001
Display 2	230024
Display 3	230025

Graphix 1	230680V01
Graphix 2	230681V01
Graphix 3	230682V01

A 型电缆，5 米	12426
A 型电缆，10 米	230012
A 型电缆，15 米	12427
A 型电缆，20 米	12428
A 型电缆，30 米	12429
A 型电缆，50 米	12431
A 型电缆，75 米	12432
A 型电缆，100 米	12433

螺旋管 DN 16 ISO-KF	230082

定心环 (1.4305 号不锈钢)，含 O 型环，DN16 KF	88346
定心环 (不锈钢)，含烧结金属过滤器，DN16 KF	88351
卡环 (铝)，DN16 KF	18341
定心环，含细滤器 DN16 KF	88396

更多信息请联系莱宝：安博元科技 info

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