TTR 91 NS THERMOVAC 系列真空变送器可提供从 5×10-5 到 1000 毫巴的较大测量范围，基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性的测量结果。

TTR 91 NS THERMOVAC 变送器用途广泛，可用作独立装置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 THERMOVAC 变送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。

每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外，每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。

变送器拥有多达三个机械继电器，这些继电器可用于过程控制，例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备，用于获取压力读数，或进行压力控制。

传感器技术

变送器具备单独的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统)) 传感器 元件，元件测量基于热传导性的测量。MEMS Pirani 传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片，其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状，空腔内无法进行对流，因此，传感器对安装位置并不敏感。通过扩散，气体分子只到达热元件，在此处可测量气体的热损耗。传感器元件极为坚固耐用，可承受较高重力和瞬间空气涌入。

应用

变送器可用于众多不同领域的真空应用中，如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:

· 一般真空压力测量

· 前级管道和粗抽压力测量

· 气体回填测量和控制

· 质谱仪控制

· 启动超高真空电离 (UHV) 规

· 系统过程控制

· 检测异常压力，利用继电器设定点采取妥当的安全措施

· 控制系统压力

P/N: 230045V02 和 230047V02 含有 Parylene-HT®涂层传感器。

Parylene-HT®是保形涂层，气体阻隔性，不释气。与标准 MEMS Pirani 相比，Parylene-HT®涂层传感器对各种腐蚀性气体的耐受性更强。涂层覆盖整个传感器芯片，包括接线。因此，暴露于处理气体的材料只有 Parylene-HT®涂层。 如需更多详情，请联系应用支持部门。

废弃处理

TTR 91 N 和 96 N 变送器是根据 RoHS (在电子电气设备中限制使用某些有害物质) 指令制造的。

技术数据

测量原理: 热传导性依据 MEMS Pirani 传感器而定

测量范围 (N2 和空气): 5×10-5 至 1000 毫巴

精确度 (1) (N2): 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 误差是读数的 ± 10%

1×10-3 至 100 毫巴: 误差是读数的 ± 5%

100 至 1000 毫巴: 误差是读数的 ± 25%

重复性 (1) (N2): 1×10-3 至 100 毫巴: 误差是读数的 ± 2%

电源电压: 9 – 30 伏直流

功耗: < 1.2 瓦

熔丝 (热可恢复): 200 毫安

模拟输出 (100 欧阻抗): 0.61 – 10 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十进制

模拟输出分辨率: 16 位

模拟输出更新率: 16 赫兹

传感器故障，模拟输出: 0.5 伏

材料暴露于真空 (2):

P/N: 230035V02 至 230043V02: 304 号不锈钢、密封材料 FPM

P/N: 230045V02、230047V02: 304 号不锈钢、密封材料 FPM、Parylene-HT®

设定点继电器:

P/N: 230035V02 至 230038V02: 0

P/N: 230040V02 至 230047V02: 2

设定点继电器范围: 2×10-4 至 1000 毫巴

设定点继电器触点额定值: 1 安/ 30 伏直流/交流 (电阻性负载)

设定点继电器响应时间: < 100 毫秒 设定点继电器触点电阻: 100 毫欧 (值) 设定点继电器触点耐久性: 100000 循环 (最小值) (30 伏直流/1 安负载)

设定点继电器触点耐久性: 2000000 循环 (最小值) (30 伏直流/0.2 安负载)

内部容积:

P/N: 230035V02、230040V02、230045V02: KF16 2.80 厘米3

P/N: 230036V02: CF 16 3.71 厘米3

P/N: 230038V02、230043V02: NPT 1/8” 3.04 厘米3 P/N: 230037V02、230047V02: CF 16 (可烘烤) 23.14 厘米3

外壳材质: 304 号不锈钢

重量:

P/N: 230035V02、230040V02、230045V02: 168 克

P/N: 230036V02: 195 克

P/N: 230038V02、230043V02: 183 克

P/N: 230037V02、230047V02: 250 克

允许压力: 6 巴

运行温度: 0 至 40 °C (32 至 104 °F)

烘烤温度 (电源关闭) (3): 85 °C (185 °F)

250 °C (482 °F) (仅适用于 P/N: 230037V02、230047V02) (3)

灯丝温度: 超过室温 35 °C

异物防护等级: IP40

泄漏速率: < 5∙10-9 毫巴∙升/秒

(1) 精确度和重复性数值是零位调整后在室温氮气氛下测得的典型数值。

(2) 如需暴露于处理气体的所有材料的完整列表，请联系 Leybold。

(3) 只有 CF 16 法兰末端处允许采用烘烤温度。变送器温度不得超过 85 °C (185 °F)。因此，不建议在烘烤期间热绝缘或直接加热变送器和法兰。

配件和备件编号

更多信息请联系莱宝：安博元科技 info