Turbo-V 551 Navigator高真空泵-成都万科姆科技有限公司手机版

详细介绍

Turbo-V 551 Navigator

采用 MacroTorr 拖动技术的 Turbo-V 551 Navigator 涡轮分子泵能为一系列高真空应用提供高压缩比、高抽气量和高出口压力。 V 551 内的轴承和性干式润滑剂消除了油的使用，实现了免维护，并允许泵在任意角度安装进行操作。安捷伦（前瓦里安）可提供配备 Navigator 泵机一体式控制器（集成了电子设备）或标准机架式控制器（用于简单安装）的 V 551 泵。 Turbo-V 551 可单独作为泵出售，也可以与控制器、进气口滤网和电源线一起作为机组套件出售。还拥有专为扫描电子显微镜优化的泵版本，能限度地减少振动和磁场特征。

特性

MacroTorr 牵引技术在紧凑经济的仪器中实现了更高的前级耐压、更高的效率以及更小的前级泵
固体润滑剂极低的蒸汽压保证了泵陶瓷轴承能保持润滑
泵可以在任意角度安装和运行
免维护、无油、无填充、无污染
精密的加热设计减少了热耗散和功耗
Navigator 泵机一体式控制器能提供即刻抽空操作，或者选用机架式控制器以匹配您当前的系统体系
可选择在您的 PC 上运行 T-plus 软件以进行远程操作和性能监控
用于 SEM 的泵采用比悬浮泵更的震动隔离系统，并且在同类产品中有着的磁场特征

性能指标

技术指标

泵速	氮气	氦气	氦气
CFF 6 英寸	350 L/s	450 L/s	450 L/s
CFF 8 英寸或 ISO 160	550 L/s	600 L/s	510 L/s
压缩比	1 x 10⁹	1 x 10⁷	1 x 10⁶
极限真空（采用推荐前级泵）	小于 1 x 10^-10 mbar（小于 1 x 10^-10 Torr）
进气口法兰选择	CFF 6 英寸；CFF 8 英寸；ISO 160；ISO 160-F 螺栓
前级管道法兰	KF25
转速	42000 rpm
启动时间	小于 5 分钟
推荐的前级泵	Agilent TS300 干式涡旋泵；
	Agilent DS-302 旋片泵
工作位置	任意
冷却要求	自然空气对流；
	可用水冷（请使用导电性为 500 µS/cm 的水）
烘烤温度	120oC 在进气口法兰处，值（CF 法兰）；
	80oC 在进气口法兰处，值（ISO 法兰）
振动参数（位移）	在进气口法兰处小于 0.01 μm
重量，kg（磅）	ISO 法兰：19.4 (43.0);
	CF 和 ISO 螺栓法兰： 23.4 (51.6)

抽速图

外形图

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