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VacIon Plus 75
安捷伦的 VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode Vaclon Plus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中，因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的设计使其成为能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以速度和容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10-8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。
技术指标
| | StarCell® | 改进型二极离子泵 | 二极泵 |
| 氮气名义抽速 (*) (L/s) | 65 | 68 | 75 |
| 在 1 x 10-6 mbar 压力下的工作寿命（小时） | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
| 启动压力 (mbar) | ≤ 5x10-2 | ≤ 1x10-3 | |
| 极限真空 | 低于 10-11 | ||
| 抽气口法兰 | 6 英寸 CFF (NW 100) AISI 304 ESR SST | ||
| 烘烤温度 (℃) | 350 | ||
| 重量，kg（磅） | 19 (42) | ||
外形图
